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公开(公告)号：CN105378899A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201480038559.1
申请日：2014-07-03
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L21/301 , C09J7/02 , C09J133/00
CPC classification number: H01L21/6836 , C09J7/385 , C09J133/14 , C09J2203/326 , C09J2205/31 , H01L2221/68327 , H01L2221/68336 , H01L2221/68381
Abstract: 本发明提供一种切割片(1)，其具有基材(2)以及层叠在基材(2)的至少一个面上的粘合剂层(3)，粘合剂层(3)由含有丙烯酸类聚合物(A)以及多官能丙烯酸酯类能量线聚合性化合物(B)的粘合剂组合物形成，多官能丙烯酸酯类能量线聚合性化合物(B)是在1g该多官能丙烯酸酯类能量线聚合性化合物(B)中具有0.004～0.009摩尔的聚合性官能团，多官能丙烯酸酯类能量线聚合性化合物(B)占丙烯酸类聚合物(A)及多官能丙烯酸酯类能量线聚合性化合物(B)的总量的比例为20～65质量％，粘合剂层(3)的厚度为2～20μm。根据所述切割片(1)，在将如半导体封装那样表面粗糙度较大的工件作为被粘物时，在照射能量线之前具有充分的粘合力，在照射能量线之后也具有适度的粘合力，并且很难产生粘合剂聚集物。
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公开(公告)号：CN106062928A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201580011622.7
申请日：2015-03-02
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L21/301 , C09J4/00 , C09J7/02 , C09J201/02
CPC classification number: H01L21/6836 , C08F220/06 , C09J4/00 , C09J4/06 , C09J5/00 , C09J5/06 , C09J7/22 , C09J7/38 , C09J7/385 , C09J133/06 , C09J201/02 , C09J2201/122 , C09J2201/622 , C09J2203/326 , C09J2205/302 , C09J2205/31 , H01L21/324 , H01L21/78 , H01L2221/68322 , H01L2221/68327
Abstract: 本发明提供一种半导体相关构件加工用片材，本发明的半导体相关构件加工用片材(1)能够更加稳定地实现：提高半导体相关构件加工用片材的剥离性；及使具备利用半导体相关构件加工用片材由半导体相关构件制造的晶片的构件的可靠性不易降低，所述半导体相关构件加工用片材(1)具备基材(2)和设置于基材(2)的一面上方的粘着剂层(3)，其中，粘着剂层(3)含有具有能量射线聚合性官能基的能量射线聚合性化合物，能量射线聚合性化合物中的至少一种为具有分枝结构的聚合物即聚合性分枝聚合物，将半导体相关构件加工用片材(1)的粘着剂层(3)侧的面贴附于硅晶圆的镜面，并对半导体相关构件加工用片材(1)照射能量射线，以降低粘着剂层(3)对硅晶圆的镜面的粘着性，之后，将从硅晶圆剥离半导体相关构件加工用片材(1)而获得的、硅晶圆中的粘贴过半导体相关构件加工用片材(1)的镜面作为测定对象面，在25℃、相对湿度为50％的环境下，利用水滴测定出的接触角为40°以下。
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公开(公告)号：CN106062928B
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201580011622.7
申请日：2015-03-02
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L21/301 , C09J4/00 , C09J7/30 , C09J7/20 , C09J201/02
CPC classification number: H01L21/6836 , C08F220/06 , C09J4/00 , C09J4/06 , C09J5/00 , C09J5/06 , C09J7/22 , C09J7/38 , C09J7/385 , C09J133/06 , C09J201/02 , C09J2201/122 , C09J2201/622 , C09J2203/326 , C09J2205/302 , C09J2205/31 , H01L21/324 , H01L21/78 , H01L2221/68322 , H01L2221/68327
Abstract: 本发明提供一种半导体相关构件加工用片材，本发明的半导体相关构件加工用片材(1)能够更加稳定地实现：提高半导体相关构件加工用片材的剥离性；及使具备利用半导体相关构件加工用片材由半导体相关构件制造的晶片的构件的可靠性不易降低，所述半导体相关构件加工用片材(1)具备基材(2)和设置于基材(2)的一面上方的粘着剂层(3)，其中，粘着剂层(3)含有具有能量射线聚合性官能基的能量射线聚合性化合物，能量射线聚合性化合物中的至少一种为具有分枝结构的聚合物即聚合性分枝聚合物，将半导体相关构件加工用片材(1)的粘着剂层(3)侧的面贴附于硅晶圆的镜面，并对半导体相关构件加工用片材(1)照射能量射线，以降低粘着剂层(3)对硅晶圆的镜面的粘着性，之后，将从硅晶圆剥离半导体相关构件加工用片材(1)而获得的、硅晶圆中的粘贴过半导体相关构件加工用片材(1)的镜面作为测定对象面，在25℃、相对湿度为50％的环境下，利用水滴测定出的接触角为40°以下。
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公开(公告)号：CN105378899B
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201480038559.1
申请日：2014-07-03
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L21/301 , H01L21/683 , C09J133/14 , C09J7/20
CPC classification number: H01L21/6836 , C09J7/385 , C09J133/14 , C09J2203/326 , C09J2205/31 , H01L2221/68327 , H01L2221/68336 , H01L2221/68381
Abstract: 本发明提供一种切割片(1)，其具有基材(2)以及层叠在基材(2)的至少一个面上的粘合剂层(3)，粘合剂层(3)由含有丙烯酸类聚合物(A)以及多官能丙烯酸酯类能量线聚合性化合物(B)的粘合剂组合物形成，多官能丙烯酸酯类能量线聚合性化合物(B)是在1g该多官能丙烯酸酯类能量线聚合性化合物(B)中具有0.004～0.009摩尔的聚合性官能团，多官能丙烯酸酯类能量线聚合性化合物(B)占丙烯酸类聚合物(A)及多官能丙烯酸酯类能量线聚合性化合物(B)的总量的比例为20～65质量％，粘合剂层(3)的厚度为2～20μm。根据所述切割片(1)，在将如半导体封装那样表面粗糙度较大的工件作为被粘物时，在照射能量线之前具有充分的粘合力，在照射能量线之后也具有适度的粘合力，并且很难产生粘合剂聚集物。
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