半导体加工用粘合片
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109937245B

    公开(公告)日:2022-01-18

    申请号:CN201780070366.8

    申请日:2017-10-03

    Abstract: 本发明的半导体加工用粘合片依次具有基材、中间层及粘合剂层,其中,所述中间层是由中间层形成用组合物形成的层,并且所述粘合剂层为能量线固化性,所述中间层形成用组合物含有非能量线固化性的丙烯酸类聚合物(A)和重均分子量为5万~25万的能量线固化性的丙烯酸类聚合物(B),能量线固化后的中间层和粘合剂层在23℃下的弹性模量差为20MPa以下。

    保护膜形成用复合片
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112447573A

    公开(公告)日:2021-03-05

    申请号:CN202010872512.2

    申请日:2020-08-26

    Inventor: 小升雄一朗

    Abstract: 本发明提供一种保护膜形成用复合片,其具备基材,并在所述基材的一个面上依次且以相互接触的方式层叠有能量射线固化性粘着剂层及保护膜形成用膜,所述粘着剂层的凝胶分率为80%以上,或所述粘着剂层的凝胶分率为20%以上且小于80%,所述保护膜形成用复合片中,所述保护膜形成用膜的玻璃化转变温度为3℃以上。

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