公开(公告)号：CN114682381A

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202111471917.6

申请日：2021-12-03

Applicant: 现代自动车株式会社 ,  起亚株式会社 ,  首尔大学校产学协力团

Inventor： 权东浩 ,  申基荣 ,  金明会 ,  韩胜植 ,  高承焕 ,  韩盛根 ,  金晋模

IPC: B03C3/017 ,  B03C3/66 ,  B03C3/38 ,  B03C3/45

Abstract: 本公开涉及过滤器及其制造方法。该过滤器包括集尘单元，并且该集尘单元包括：过滤介质，形成为皱褶形状，该皱褶形状包括沿平行于多个平行图案的方向上下折叠的多个弯曲部分和连接部分；导电涂层图案，包括多个平行图案；以及第一电源，电连接到导电涂层图案的第一端和第二端并且被配置为施加电压，其中，连接部分连接相邻的弯曲部分，多个平行图案中的一平行图案设置在连接部分中，并且多个平行图案包括第一相邻平行图案和第二相邻平行图案，并且流经第一相邻平行图案的第一电流沿与流经第二相邻平行图案的第二电流相反的方向流动。

公开(公告)号：CN117995711A

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202310721157.2

申请日：2023-06-16

Applicant: 三星电子株式会社 ,  首尔大学校产学协力团

Inventor： 赵哲敏 ,  高承焕 ,  申禹燮 ,  金珉佑 ,  吴灵桓

IPC: H01L21/67 ,  G03F7/16 ,  H05B3/02 ,  H05B3/20

Abstract: 一种衬底处理装置，包括：腔室，提供被配置为处理衬底的空间；以及加热板，布置在腔室内，该加热板包括衬底板和液态金属图案，衬底板被配置为支撑衬底并具有从衬底板的中心沿径向方向顺序地布置的第一区域、第二区域和第三区域，液态金属图案在衬底板上被图案化并在第一区域、第二区域和第三区域上延伸，该衬底板是可拉伸的。