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公开(公告)号：CN100334735C
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN03809827.X
申请日：2003-04-25
Applicant: 独立行政法人科学技术振兴机构 , 独立行政法人理化学研究所 , 日本电气株式会社
CPC classification number: G11C13/0011 , G11C2213/15 , G11C2213/56 , G11C2213/79 , H01L27/101 , H01L45/085 , H01L45/1233 , H01L45/1266 , H01L45/142 , H01L45/144 , H01L45/1633 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种即使切断电源也能保持导通或断开状态，能降低在导通状态下的电阻，实现集成化，并且能够再编程的固体电解质开关元件及使用其的FPGA、存储元件及其制造方法。固体电解质开关元件(10、10′、20、20′)，其特征在于具有：用绝缘层来覆盖表面的基片(11)、布置在基片(11)上的第1布线层(13)、布置在第1布线层(13)上的离子供给层(17)、设置在离子供给层(17)上的固体电解质层(16)、布置成对第1布线层(13)、离子供给层(17)和固体电解质层(16)进行覆盖，并具有导通孔的层间绝缘层(12)、通过层间绝缘层(12)的导通孔而布置成与固体电解质层(16)相接触的对置电极层(15)、以及布置成对对置电极层(15)进行覆盖状态的第2布线层(14)。能够提供利用离子供给层(17)和对置电极层(15)之间所加的阈值电压来任意设定导通状态和断开状态，是非挥发性，而且导通状态电阻小的开关元件。并且，因为本发明的开关元件结构简单，微细，所以，与现有的开关元件相比能够大幅度地提高微细化。若把本发明的开关元件使用于FPGA(30)的开关元件，则能够提供能够再编程式而且动作速度快的FPGA(30)。并且，若把本发明的开关元件使用于存储元件的存储媒体中，则能够提供写入和读出速度快的非挥发性存储元件(50)。
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公开(公告)号：CN1650419A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN03809827.X
申请日：2003-04-25
Applicant: 独立行政法人科学技术振兴机构 , 独立行政法人理化学研究所 , 日本电气株式会社
IPC: H01L21/82 , H01L27/04 , H01L27/10 , H03K19/173 , G11C17/00
CPC classification number: G11C13/0011 , G11C2213/15 , G11C2213/56 , G11C2213/79 , H01L27/101 , H01L45/085 , H01L45/1233 , H01L45/1266 , H01L45/142 , H01L45/144 , H01L45/1633 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种即使切断电源也能保持导通或断开状态，能降低在导通状态下的电阻，实现集成化，并且能够再编程的固体电解质开关元件及使用其的FPGA、存储元件及其制造方法。固体电解质开关元件(10、10′、20、20′)，其特征在于具有：用绝缘层来覆盖表面的基片(11)、布置在基片(11)上的第1布线层(13)、布置在第1布线层(13)上的离子供给层(17)、设置在离子供给层(17)上的固体电解质层(16)、布置成对第1布线层(13)、离子供给层(17)和固体电解质层(16)进行覆盖，并具有导通孔的层间绝缘层(12)、通过层间绝缘层(12)的导通孔而布置成与固体电解质层(16)相接触的对置电极层(15)、以及布置成对对置电极层(15)进行覆盖状态的第2布线层(14)。能够提供利用离子供给层(17)和对置电极层(15)之间所加的阈值电压来任意设定导通状态和断开状态，是非挥发性，而且导通状态电阻小的开关元件。并且，因为本发明的开关元件结构简单，微细，所以，与现有的开关元件相比能够大幅度地提高微细化。若把本发明的开关元件使用于FPGA(30)的开关元件，则能够提供能够再编程式而且动作速度快的FPGA(30)。并且，若把本发明的开关元件使用于存储元件的存储媒体中，则能够提供写入和读出速度快的非挥发性存储元件(50)。
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