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公开(公告)号：CN101034011A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200710084313.X
申请日：2007-02-27
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 日本电气株式会社
CPC classification number: G01J5/20
Abstract: 依照本发明的红外传感器制造方法包括：在Si衬底上形成绝缘材料的桥结构的步骤，在桥结构上通过干膜形成方法形成氧化钒薄膜的步骤，在氧化钒薄膜上照射激光以由此改变其材料性能的步骤，把改变了材料性能的氧化钒薄膜形成为具有预定图形的测辐射热仪电阻器的步骤，和形成绝缘材料的保护层以便覆盖具有预定图形的测辐射热仪电阻器和桥结构的步骤。
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公开(公告)号：CN102652112A
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201080056222.5
申请日：2010-12-09
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
CPC classification number: C01G3/006 , H01L39/2425
Abstract: 本发明的目的在于提供一种涂布用溶液，其在利用涂布热分解法制造稀土类超导性复合金属氧化物膜时，无需反复进行涂布和煅烧工序，即使一次涂布的膜厚以所制造的稀土类超导膜计为500nm以上，在除去有机成分的热处理工序中也不会产生裂纹。一种稀土类超导膜制造用溶液，其中，使金属络合物溶解于在碳原子数为1~8的一元直链醇和/或水中添加多元醇类而成的溶剂中，形成均匀溶液，所述金属络合物是吡啶和/或至少一种叔胺、至少一种碳原子数为1~8的羧酸基以及根据需要的乙酰丙酮基对包含稀土元素、钡和铜的中心金属的金属离子配位而形成的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101542641B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN200880000583.0
申请日：2008-02-05
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 株式会社日本制钢所
CPC classification number: H01L39/2425 , C23C18/1216 , C23C18/1245 , C23C18/1295 , C23C18/14 , H01L39/2451
Abstract: 本发明的课题是提供一种超导氧化物材料的制造方法，其在进行金属有机化合物的热分解和超导物质的热处理形成时，不会引起消融且效率高、性能得到改善的大面积的超导材料。该课题是通过下述手段实现的：在经过下述的工序(1)、(2)和(3)来制造外延生长的超导涂敷材料的方法中，在工序(1)和工序(2)之间照射激光时，在激光的强度、脉冲数、激光总能量的量满足特定数学式的条件下进行所述超导氧化物材料的制造方法，其中工序(1)是将氧化物形成超导物质的金属的有机化合物溶液涂布在支撑体上并使其干燥的工序，工序(2)是使金属的有机化合物中的有机成分热分解的预烧成工序，工序(3)是进行向超导物质转化的主烧成工序。
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公开(公告)号：CN101356119B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200780001316.0
申请日：2007-07-31
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 株式会社日本制钢所
CPC classification number: C01G1/02 , C01G3/006 , C01P2002/82 , C01P2006/40 , C23C18/1216 , C23C18/1283 , C23C18/1291 , C23C18/14 , C30B7/02 , C30B29/22 , H01L39/2425 , H01L39/2451
Abstract: 本发明的目的是提供在进行金属有机化合物的热分解及超导物质的热处理形成时，效率高地制造性能得以改善的大面积的超导材料的方法。本发明涉及一种超导材料的制造方法，其特征在于：在经过下述的工序(1)、(2)和(3)来制造外延生长的超导涂敷材料时，当在工序(1)和工序(2)之间照射激光时，从涂布有形成超导物质的金属的有机化合物溶液的一面的相反侧的面照射激光，其中工序(1)是将氧化物形成超导物质的金属的有机化合物溶液涂布在支持体上并使其干燥的工序，工序(2)是使金属的有机化合物中的有机成分热分解的准烧成工序，工序(3)是进行向超导物质转化的正式烧成工序。
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公开(公告)号：CN101542641A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200880000583.0
申请日：2008-02-05
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 株式会社日本制钢所
CPC classification number: H01L39/2425 , C23C18/1216 , C23C18/1245 , C23C18/1295 , C23C18/14 , H01L39/2451
Abstract: 本发明的课题是提供一种超导氧化物材料的制造方法，其在进行金属有机化合物的热分解和超导物质的热处理形成时，不会引起消融且效率高、性能得到改善的大面积的超导材料。该课题是通过下述手段实现的：在经过下述的工序(1)、(2)和(3)来制造外延生长的超导涂敷材料的方法中，在工序(1)和工序(2)之间照射激光时，在激光的强度、脉冲数、激光总能量的量满足特定数学式的条件下进行所述超导氧化物材料的制造方法，其中工序(1)是将氧化物形成超导物质的金属的有机化合物溶液涂布在支撑体上并使其干燥的工序，工序(2)是使金属的有机化合物中的有机成分热分解的预烧成工序，工序(3)是进行向超导物质转化的主烧成工序。
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公开(公告)号：CN102652112B
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201080056222.5
申请日：2010-12-09
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
CPC classification number: C01G3/006 , H01L39/2425
Abstract: 本发明的目的在于提供一种涂布用溶液，其在利用涂布热分解法制造稀土类超导性复合金属氧化物膜时，无需反复进行涂布和煅烧工序，即使一次涂布的膜厚以所制造的稀土类超导膜计为500nm以上，在除去有机成分的热处理工序中也不会产生裂纹。一种稀土类超导膜制造用溶液，其中，使金属络合物溶解于在碳原子数为1~8的一元直链醇和/或水中添加多元醇类而成的溶剂中，形成均匀溶液，所述金属络合物是吡啶和/或至少一种叔胺、至少一种碳原子数为1~8的羧酸基以及根据需要的乙酰丙酮基对包含稀土元素、钡和铜的中心金属的金属离子配位而形成的。
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公开(公告)号：CN101356119A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200780001316.0
申请日：2007-07-31
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 株式会社日本制钢所
CPC classification number: C01G1/02 , C01G3/006 , C01P2002/82 , C01P2006/40 , C23C18/1216 , C23C18/1283 , C23C18/1291 , C23C18/14 , C30B7/02 , C30B29/22 , H01L39/2425 , H01L39/2451
Abstract: 本发明的目的是提供在进行金属有机化合物的热分解及超导物质的热处理形成时，效率高地制造性能得以改善的大面积的超导材料的方法。本发明涉及一种超导材料的制造方法，其特征在于：在经过下述的工序(1)、(2)和(3)来制造外延生长的超导涂敷材料时，当在工序(1)和工序(2)之间照射激光时，从涂布有形成超导物质的金属的有机化合物溶液的一面的相反侧的面照射激光，其中工序(1)是将氧化物形成超导物质的金属的有机化合物溶液涂布在支持体上并使其干燥的工序，工序(2)是使金属的有机化合物中的有机成分热分解的准烧成工序，工序(3)是进行向超导物质转化的正式烧成工序。
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