包括线网和薄非多孔膜面板的围包件系统

    公开(公告)号:CN109790844A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201780062953.2

    申请日:2017-08-09

    发明人: M.W.格雷

    摘要: 本发明是一种由具有薄非多孔膜的轻质面板形成的围包件系统,该薄非多孔膜使得能够实现来自诸如真空泵、阀、消减装备的装纳装备的有害气体的抽取和泄漏检测。此外,围包件系统包括一层或多层线网,所述线网防止具有高动能的抛射物从装纳装备逃逸,由此使引起零件或面板从围包件系统弹出的爆炸的风险最小化。

    包括线网和薄非多孔膜面板的围包件系统

    公开(公告)号:CN109790844B

    公开(公告)日:2021-12-17

    申请号:CN201780062953.2

    申请日:2017-08-09

    发明人: M.W.格雷

    摘要: 本发明是一种由具有薄非多孔膜的轻质面板形成的围包件系统,该薄非多孔膜使得能够实现来自诸如真空泵、阀、消减装备的装纳装备的有害气体的抽取和泄漏检测。此外,围包件系统包括一层或多层线网,所述线网防止具有高动能的抛射物从装纳装备逃逸,由此使引起零件或面板从围包件系统弹出的爆炸的风险最小化。

    双轴泵
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110753793B

    公开(公告)日:2022-03-22

    申请号:CN201880041076.5

    申请日:2018-06-15

    摘要: 公开了双轴泵,所述双轴泵包括:泵送室;两个可旋转轴,每个被安装在轴承上。两个可旋转轴中的每个包括至少一个转子元件,转子元件在泵送室内,并且两个可旋转轴延伸超出泵送室到支撑构件。支撑构件包括安装器件,用于将轴承安装在从彼此隔开的预定距离处,预定距离限定两个轴之间的距离。在泵送室与支撑构件之间提供热中断,用于阻碍泵送室与支撑构件之间的热传导,使得泵送室和支撑构件可维持在不同的温度下。支撑构件和转子元件由不同材料形成,形成支撑构件的材料的热膨胀系数比形成转子元件的材料的热膨胀系数更高。

    具有吹扫气体系统的干式真空泵和吹扫方法

    公开(公告)号:CN102762867B

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201080058543.9

    申请日:2010-11-23

    IPC分类号: F04C29/00

    摘要: 本发明提供正排量干泵,包括:多个真空抽汲级,其包括由一个或多个传动轴驱动的相应的多个抽汲机构,以通过抽汲级将流体连续地从高真空级处的泵入口抽汲到低真空级处的泵出口;容纳支承传动轴以便其进行旋转运动的轴承组件的润滑室,传动轴通过润滑室的顶板的开口从高真空级延伸到润滑室;级间吹扫端口,气体能通过级间吹扫端口而在高真空级的下游的级间位置处进入泵,且仅传送通过级间端口的下游的真空抽汲级或各个真空抽汲级;位于润滑室中的润滑室吹扫端口,吹扫气体能通过润滑室吹扫端口而从吹扫气体源流出;其中级间端口连接到润滑室上,以控制润滑室中的吹扫气体的压力,从而阻止抽汲气体在使用期间通过顶板开口从高真空室传送到润滑室。

    泵送系统
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104995406A

    公开(公告)日:2015-10-21

    申请号:CN201480008718.3

    申请日:2014-01-28

    IPC分类号: F04B37/14 F04B41/02 F04B41/06

    CPC分类号: F04B37/14 F04B41/02 F04B41/06

    摘要: 一种真空泵送系统包括用于抽空包围空间的多个真空泵送装置和用于由至少一个第一真空泵送装置抽空的辅助真空室。真空泵送系统具有用于抽空包围空间的第一状态,以及用于节省由系统消耗的功率的第二状态。在第二状态的第一阶段中,第一真空泵送装置布置成抽空至少一个第二真空泵送装置的排气口,并且在第二阶段中,第一泵送装置的排气口布置成由辅助真空室抽空。

    泵冷却系统
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110226042B

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN201780085563.7

    申请日:2017-12-21

    摘要: 一种泵冷却系统可以包括被装配到泵壳体(14)上的冷却体(24),用于经由冷却体与泵壳体之间的热传导路径(44)从泵壳体接收热量。冷却体(24)可以具有通道(26),在使用中,冷却流体通过该通道从冷却体导走热量。泵冷却系统包括冷却控制机构,该冷却控制机构被配置为在低于预定温度的泵操作温度下在热传导路径(44)中提供空隙,从而从泵壳体到冷却体的热传导被中断。

    双轴泵
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110753793A

    公开(公告)日:2020-02-04

    申请号:CN201880041076.5

    申请日:2018-06-15

    摘要: 公开了双轴泵,所述双轴泵包括:泵送室;两个可旋转轴,每个被安装在轴承上。两个可旋转轴中的每个包括至少一个转子元件,转子元件在泵送室内,并且两个可旋转轴延伸超出泵送室到支撑构件。支撑构件包括安装器件,用于将轴承安装在从彼此隔开的预定距离处,预定距离限定两个轴之间的距离。在泵送室与支撑构件之间提供热中断,用于阻碍泵送室与支撑构件之间的热传导,使得泵送室和支撑构件可维持在不同的温度下。支撑构件和转子元件由不同材料形成,形成支撑构件的材料的热膨胀系数比形成转子元件的材料的热膨胀系数更高。

    泵冷却系统
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110226042A

    公开(公告)日:2019-09-10

    申请号:CN201780085563.7

    申请日:2017-12-21

    摘要: 一种泵冷却系统可以包括被装配到泵壳体(14)上的冷却体(24),用于经由冷却体与泵壳体之间的热传导路径(44)从泵壳体接收热量。冷却体(24)可以具有通道(26),在使用中,冷却流体通过该通道从冷却体导走热量。泵冷却系统包括冷却控制机构,该冷却控制机构被配置为在低于预定温度的泵操作温度下在热传导路径(44)中提供空隙,从而从泵壳体到冷却体的热传导被中断。

    泵送系统
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104995406B

    公开(公告)日:2017-03-08

    申请号:CN201480008718.3

    申请日:2014-01-28

    IPC分类号: F04B37/14 F04B41/02 F04B41/06

    CPC分类号: F04B37/14 F04B41/02 F04B41/06

    摘要: 一种真空泵送系统包括用于抽空包围空间的多个真空泵送装置和用于由至少一个第一真空泵送装置抽空的辅助真空室。真空泵送系统具有用于抽空包围空间的第一状态,以及用于节省由系统消耗的功率的第二状态。在第二状态的第一阶段中,第一真空泵送装置布置成抽空至少一个第二真空泵送装置的排气口,并且在第二阶段中,第一泵送装置的排气口布置成由辅助真空室抽空。