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公开(公告)号：CN106098516A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610235948.4
申请日：2016-04-15
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: H01J37/04 , H01J37/147 , H01J37/317
Abstract: 本发明实现一种多射束形成元件，其利用互补光刻法，能稳定地加工微细的线图案。本发明提供一种元件及应用这种元件的曝光装置，该元件是使射束成形并偏向的元件，具备：孔径层，具有使从元件的第1面侧入射的射束成形并通过的第1开孔；及偏向层，使通过孔径层的射束通过并偏向；且偏向层具有：第1电极部，具有与对应于第1开孔的偏向层内的射束通过空间相对的第1电极；及第2电极部，具有在偏向层内独立于相邻层并朝向射束通过空间延伸的延伸部、及在端部隔着射束通过空间而与第1电极对向的第2电极。
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