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公开(公告)号:CN118603370A
公开(公告)日:2024-09-06
申请号:CN202410855646.1
申请日:2024-06-28
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本申请提供一种高线性度压力传感器,属于传感器技术领域。本申请提供的高线性度压力传感器包括并联设置的两个传感器单元,将每个所述传感器单元中固定电极朝向腔室的一面设计为曲面,采用余弦曲线函数定义曲面的形状,通过改变余弦曲线函数的周期和幅值来调节每个传感器单元的输出电容‑压力曲线,以两个所述传感器单元输出电容‑压力曲线中凸函数部分和凹函数部分的互补来扩大线性区间大小,提高传感器整体的线性度。
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公开(公告)号:CN117007215A
公开(公告)日:2023-11-07
申请号:CN202310898866.8
申请日:2023-07-21
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本申请提供一种介电常数可变的压力传感器模拟系统的设计方法,设定所述绝缘层的介电常数可变,以ε(r)表征所述绝缘层上与圆心距离r处位置的相对介电常数,构建所述基础模型在接触状态下输出电容的表达式,其中所述输出电容包括接触区域输出电容和未接触区域输出电容,以接触区域输出电容与压力线性变化为条件,推导所述相对介电常数ε(r)的表达式;然后根据ε(r)设定所述绝缘层上任意位置处的介电常数,该种设计使得所述压力传感器可以提高接触区域输出电容的线性度,同时改善了非接触区域输出电容的线性度,使得压力传感器整体的电容可以保持较高的线性度。本申请还提供一种介电常数可变的压力传感器模拟系统。
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公开(公告)号:CN116625326B
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202310891218.X
申请日:2023-07-20
Applicant: 湖南大学
IPC: G01C13/00 , G01F23/263
Abstract: 本申请提供一种用于深海测量的高线性深度计,包括支撑框架,围成两端开口的圆柱形腔室;两个柔性电极,分别覆盖并完全封闭所述腔室的两端开口,所述腔室内设置为真空状态;两个所述柔性电极间隔形成电容器,至少一个所述柔性电极用于感知外界水压产生形变,至少一个所述柔性电极位于所述腔室内的一面贴设有薄膜状的绝缘层;所述绝缘层包括至少两个单元,所述单元包括一个中心圆单元及环设于所述中心圆单元外围并与所述中心圆单元同心的至少一个圆环单元,任一所述单元内各处的介电常数相同,不同单元的介电常数不同。本申请提供的一种用于深海测量的高线性深度计具有极高的线性度。
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公开(公告)号:CN117007215B
公开(公告)日:2024-03-22
申请号:CN202310898866.8
申请日:2023-07-21
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本申请提供一种介电常数可变的压力传感器模拟系统的设计方法,设定所述绝缘层的介电常数可变,以ε(r)表征所述绝缘层上与圆心距离r处位置的相对介电常数,构建所述基础模型在接触状态下输出电容的表达式,其中所述输出电容包括接触区域输出电容和未接触区域输出电容,以接触区域输出电容与压力线性变化为条件,推导所述相对介电常数ε(r)的表达式;然后根据ε(r)设定所述绝缘层上任意位置处的介电常数,该种设计使得所述压力传感器可以提高接触区域输出电容的线性度,同时改善了非接触区域输出电容的线性度,使得压力传感器整体的电容可以保持较高的线性度。本申请还提供一种介电常数可变的压力传感器模拟系统。
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公开(公告)号:CN116625326A
公开(公告)日:2023-08-22
申请号:CN202310891218.X
申请日:2023-07-20
Applicant: 湖南大学
IPC: G01C13/00 , G01F23/263
Abstract: 本申请提供一种用于深海测量的高线性深度计,包括支撑框架,围成两端开口的圆柱形腔室;两个柔性电极,分别覆盖并完全封闭所述腔室的两端开口,所述腔室内设置为真空状态;两个所述柔性电极间隔形成电容器,至少一个所述柔性电极用于感知外界水压产生形变,至少一个所述柔性电极位于所述腔室内的一面贴设有薄膜状的绝缘层;所述绝缘层包括至少两个单元,所述单元包括一个中心圆单元及环设于所述中心圆单元外围并与所述中心圆单元同心的至少一个圆环单元,任一所述单元内各处的介电常数相同,不同单元的介电常数不同。本申请提供的一种用于深海测量的高线性深度计具有极高的线性度。
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公开(公告)号:CN115656548B
公开(公告)日:2023-07-21
申请号:CN202211397391.6
申请日:2022-11-09
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本申请公开了一种MEMS气流传感器,包括:基底,具有一空腔;第一支撑层,设置于所述基底顶面;电容结构,设置于所述第一支撑层上;泄压结构,设置于所述结构层上;以及保护结构。本申请提供的一种MEMS气流传感器具有如下有益效果:可以在敏感膜两侧空气流速之差超过传感器的量程时,通过泄压结构减小振动空间内的压力以及利用保护结构阻碍敏感膜的进一步形变,对气流传感器的敏感膜进行有效保护,同时内置防尘膜可以阻挡外界异物进入传感器内部,提高了传感器的稳定性和可靠性。
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公开(公告)号:CN116045922B
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202310251264.3
申请日:2023-03-16
Applicant: 湖南大学
IPC: G01C13/00 , G01F23/263
Abstract: 本申请公开了一种用于深海测量的深度计,在盆架上设置第一开口和第二开口,第一开口上覆盖有第一敏感振膜,第二开口上覆盖有第二敏感振膜,所述第一敏感振膜驱动两个所述第一电容系统中的梳齿电极相向运动,使所述电容器的电容增加,所述电容器的电容在所述第一敏感振膜的驱动下达到最大值时,所述第二敏感振膜驱动所述梳齿插入所述电容器内,增加所述电容器的电容,可以提高深度计的测量范围。
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公开(公告)号:CN115656548A
公开(公告)日:2023-01-31
申请号:CN202211397391.6
申请日:2022-11-09
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本申请公开了一种MEMS气流传感器,包括:基底,具有一空腔;第一支撑层,设置于所述基底顶面;电容结构,设置于所述第一支撑层上;泄压结构,设置于所述结构层上;以及保护结构。本申请提供的一种MEMS气流传感器具有如下有益效果:可以在敏感膜两侧空气流速之差超过传感器的量程时,通过泄压结构减小振动空间内的压力以及利用保护结构阻碍敏感膜的进一步形变,对气流传感器的敏感膜进行有效保护,同时内置防尘膜可以阻挡外界异物进入传感器内部,提高了传感器的稳定性和可靠性。
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