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公开(公告)号：CN118501253B
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410962476.7
申请日：2024-07-18
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本发明公开了一种室温声表面波甲基膦酸二甲酯传感器及其制备方法和应用，属于气体传感器技术领域，该室温声表面波甲基膦酸二甲酯传感器包括铌酸锂衬底、设置于所述铌酸锂衬底上的两个平行且间隔设置的叉指换能器、溅射在所述铌酸锂衬底和所述叉指换能器上的二氧化硅绝缘层以及涂覆于所述二氧化硅绝缘层上并位于两个所述叉指换能器之间的氯化铜/氧化锆敏感层。本发明开发出了用于检测甲基膦酸二甲酯的新型复合材料，在室温下便能够对甲基膦酸二甲酯气体具有优异的气敏性能，显著提高了声表面波甲基磷酸二甲酯传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN117007215B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202310898866.8
申请日：2023-07-21
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本申请提供一种介电常数可变的压力传感器模拟系统的设计方法，设定所述绝缘层的介电常数可变，以ε(r)表征所述绝缘层上与圆心距离r处位置的相对介电常数，构建所述基础模型在接触状态下输出电容的表达式，其中所述输出电容包括接触区域输出电容和未接触区域输出电容，以接触区域输出电容与压力线性变化为条件，推导所述相对介电常数ε(r)的表达式；然后根据ε(r)设定所述绝缘层上任意位置处的介电常数，该种设计使得所述压力传感器可以提高接触区域输出电容的线性度，同时改善了非接触区域输出电容的线性度，使得压力传感器整体的电容可以保持较高的线性度。本申请还提供一种介电常数可变的压力传感器模拟系统。
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公开(公告)号：CN116625326A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310891218.X
申请日：2023-07-20
Applicant: 湖南大学
IPC: G01C13/00 , G01F23/263
Abstract: 本申请提供一种用于深海测量的高线性深度计，包括支撑框架，围成两端开口的圆柱形腔室；两个柔性电极，分别覆盖并完全封闭所述腔室的两端开口，所述腔室内设置为真空状态；两个所述柔性电极间隔形成电容器，至少一个所述柔性电极用于感知外界水压产生形变，至少一个所述柔性电极位于所述腔室内的一面贴设有薄膜状的绝缘层；所述绝缘层包括至少两个单元，所述单元包括一个中心圆单元及环设于所述中心圆单元外围并与所述中心圆单元同心的至少一个圆环单元，任一所述单元内各处的介电常数相同，不同单元的介电常数不同。本申请提供的一种用于深海测量的高线性深度计具有极高的线性度。
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公开(公告)号：CN115656548B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202211397391.6
申请日：2022-11-09
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本申请公开了一种MEMS气流传感器，包括：基底，具有一空腔；第一支撑层，设置于所述基底顶面；电容结构，设置于所述第一支撑层上；泄压结构，设置于所述结构层上；以及保护结构。本申请提供的一种MEMS气流传感器具有如下有益效果：可以在敏感膜两侧空气流速之差超过传感器的量程时，通过泄压结构减小振动空间内的压力以及利用保护结构阻碍敏感膜的进一步形变，对气流传感器的敏感膜进行有效保护，同时内置防尘膜可以阻挡外界异物进入传感器内部，提高了传感器的稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN116045922B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310251264.3
申请日：2023-03-16
Applicant: 湖南大学
IPC: G01C13/00 , G01F23/263
Abstract: 本申请公开了一种用于深海测量的深度计，在盆架上设置第一开口和第二开口，第一开口上覆盖有第一敏感振膜，第二开口上覆盖有第二敏感振膜，所述第一敏感振膜驱动两个所述第一电容系统中的梳齿电极相向运动，使所述电容器的电容增加，所述电容器的电容在所述第一敏感振膜的驱动下达到最大值时，所述第二敏感振膜驱动所述梳齿插入所述电容器内，增加所述电容器的电容，可以提高深度计的测量范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115656548A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211397391.6
申请日：2022-11-09
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本申请公开了一种MEMS气流传感器，包括：基底，具有一空腔；第一支撑层，设置于所述基底顶面；电容结构，设置于所述第一支撑层上；泄压结构，设置于所述结构层上；以及保护结构。本申请提供的一种MEMS气流传感器具有如下有益效果：可以在敏感膜两侧空气流速之差超过传感器的量程时，通过泄压结构减小振动空间内的压力以及利用保护结构阻碍敏感膜的进一步形变，对气流传感器的敏感膜进行有效保护，同时内置防尘膜可以阻挡外界异物进入传感器内部，提高了传感器的稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN115655393A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211397376.1
申请日：2022-11-09
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本申请公开了一种MEMS气流传感器，两层背板相对间隔将壳体的收容空间分隔形成第一腔室、第二腔室及第三腔室，所述第二腔室与所述壳体的两端开口连通，配合形成气流通道；所述背板的中间位置贯穿设置有通孔，所述振膜完全覆盖所述背板上的通孔，使所述第一腔室和所述第三腔室形成密闭腔室，所述第一腔室和所述第三腔室内填充有一个标准大气压的空气，两个所述振膜相对间隔形成电容，压电晶体阵列设置于所述背板上，所述背板变形产生应力变化，所述压电晶体阵列对应产生电压输出。本申请将振膜与压电晶体阵列配合，分别对于对小气流和大气流的检测，无需增大振膜的厚度或使用杨氏模量更大的材料，保证了小气流检测的灵敏度不受影响。
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公开(公告)号：CN118566334B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411044600.8
申请日：2024-08-01
Applicant: 湖南大学
IPC: G01N29/02
Abstract: 本发明公开了一种室温声表面波甲醛传感器及其制备方法和应用，属于气体传感器技术领域，该室温声表面波甲醛传感器包括铌酸锂衬底、设置于所述铌酸锂衬底上的两个平行且间隔设置的叉指换能器以及涂覆于所述铌酸锂衬底上并位于两个所述叉指换能器之间的聚(3,4‑亚乙二氧基噻吩):聚(苯乙烯磺酸)‑二硫化钼/氧化铟敏感层。本发明在室温下便能够对甲醛气体具有优异的气敏性能，显著提高了声表面波甲醛传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN118392983B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410850365.7
申请日：2024-06-28
Applicant: 湖南大学
IPC: G01N29/02
Abstract: 本发明公开了一种室温声表面波甲醛传感器及其制备方法和应用，属于气体传感器技术领域，该室温声表面波甲醛传感器包括铌酸锂衬底、设置于所述铌酸锂衬底上的两个平行且间隔设置的叉指换能器以及涂覆于所述铌酸锂衬底上并位于两个所述叉指换能器之间的氧化石墨烯/聚(3,4‑亚乙二氧基噻吩)‑聚(苯乙烯磺酸)敏感层。本发明开发出了用于检测甲醛的新型无机‑有机复合材料，在室温下便能够对甲醛气体具有优异的气敏性能，显著提高了声表面波甲醛传感器的灵敏度。
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