公开(公告)号：CN112179981A

公开(公告)日：2021-01-05

申请号：CN202011063322.2

申请日：2020-09-30

Applicant: 湖南大学

Inventor： 周剑 ,  詹正佳 ,  段辉高 ,  陈哲 ,  张定红 ,  殷长帅 ,  刘立柱

IPC: G01N29/00 ,  G01N29/02

Abstract: 本发明涉及一种声表面波传感器。该声表面波传感器包括压电基板、双端对叉指电极、两个反射栅和绝缘层；两个所述叉指电极相对地设于压电基板的上表面，两个叉指电极之间有间距；两个所述反射栅分别设于两个所述叉指电极的两侧，两个所述叉指电极位于两个所述反射栅之间；两个所述叉指电极所在区域的所述压电基板的上表面、位于两个所述叉指电极之间的所述压电基板的上表面和所述叉指电极的上表面覆盖有所述绝缘层。该声表面波传感器结合了声波传播区和电极敏感区的质量负载效应敏感特性，相较于传统基于声波传播区的声表面波传感器，当加载相同的单位面积质量负载时，具有更大的显著的谐振频率偏移；具有超高灵敏、易于检测以及工艺简单的优势。

公开(公告)号：CN212206126U

公开(公告)日：2020-12-22

申请号：CN202020412786.9

申请日：2020-03-27

Applicant: 湖南大学

Inventor： 周剑 ,  殷长帅 ,  颜凌波 ,  段辉高 ,  尹小波 ,  陈哲

IPC: G01D5/48

Abstract: 本实用新型公开了一种复合结构的高灵敏度声表面波紫外传感器，传感器结构从下至上依次为：压电衬底；电极层(叉指换能器和反射栅)，ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层。相比于传统声表面波紫外传感器，复合结构的高灵敏度声表面波紫外传感器由于ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构在受到紫外辐射时电导率变化更大，使得声表面波的电声耦合作用增强，频率偏移增大，提高声表面波灵敏度。所述叉指换能器的波长为50nm～400μm，金属化率为0.1～0.9。本实用新型的有益效果如下：超高灵敏、易于检测以及工艺简单。