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公开(公告)号：CN212206126U
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202020412786.9
申请日：2020-03-27
Applicant: 湖南大学
IPC: G01D5/48
Abstract: 本实用新型公开了一种复合结构的高灵敏度声表面波紫外传感器，传感器结构从下至上依次为：压电衬底；电极层(叉指换能器和反射栅)，ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层。相比于传统声表面波紫外传感器，复合结构的高灵敏度声表面波紫外传感器由于ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构在受到紫外辐射时电导率变化更大，使得声表面波的电声耦合作用增强，频率偏移增大，提高声表面波灵敏度。所述叉指换能器的波长为50nm～400μm，金属化率为0.1～0.9。本实用新型的有益效果如下：超高灵敏、易于检测以及工艺简单。
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