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公开(公告)号：CN119153399A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411283396.5
申请日：2024-09-13
Applicant: 湖北星辰技术有限公司
IPC: H01L21/768 , H01L23/48
Abstract: 本申请提供一种基于背面供电的互连结构及其制备方法，涉及集成电路技术领域，通过利用金属化的正面纳米通孔对金属化的背面纳米通孔实现在外延层背面形成电源布线层，即实现背面供电，这样能够有效缓解传统电源线和信号线同侧布置所导致的高压降，提高功率传输性能，减少布线的拥塞。
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