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公开(公告)号:CN112760611B
公开(公告)日:2022-12-27
申请号:CN202011524321.3
申请日:2020-12-22
Applicant: 温州大学激光与光电智能制造研究院 , 温州大学
IPC: C23C16/02 , C23C16/30 , C23C16/455 , H01L21/02
Abstract: 本发明公开一种用预沉积形核层提高MOCVD外延薄膜质量的优化生长方法。采用的技术方案包括以下制备方法:步骤1、将衬底或薄膜A放在MOCVD设备的反应腔中,在反应腔充满载气H2的状态下,通入含元素X的化合物作为X源,将温度、反应腔压力、沉积时间均设置在该气体化合物能够分解出X原子的参数范围内,在衬底或薄膜A的表面进行预沉积X原子层,此时X原子层吸附在衬底或者薄膜A上;该X原子层可在后续流程中与其他化合物反应生成薄膜B成分,或者与薄膜A直接形成薄膜B成分。
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公开(公告)号:CN110776908A
公开(公告)日:2020-02-11
申请号:CN201911055564.4
申请日:2019-10-31
Applicant: 温州大学激光与光电智能制造研究院 , 温州大学
Abstract: 本发明公开一种溶质非完全溶解方式超声辅助制备氧化锌量子点的方法。采用的技术方案,包括的制备方法如下:步骤1:在超声波环境中将含锌无机盐置于醇类有机溶剂中,形成ZnO前驱体悬浊液A;步骤2:将强碱在搅拌环境中充分溶解在醇类有机溶剂中,获得澄清溶液B;步骤3:在超声波环境中,将步骤2所得的澄清溶液B逐滴加入步骤1所得的悬浊液A中,并任其在超声波环境下实现充分反应,反应时间为10-40min,获得溶液C;步骤4:将步骤3反应后的溶液C加入到非极性溶剂中,静置沉淀,在一定速度下离心后,移去上清液,获得初始沉淀物,随后加入醇类有机溶剂,在超声环境中分散该沉淀物;步骤5:重复步骤4两次以上,可得到纯净的ZnO量子点沉淀物;步骤6:将步骤5得到的ZnO量子点沉淀物置于真空干燥机中进行退火处理,得到ZnO粉末。
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公开(公告)号:CN109979855A
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201910250642.X
申请日:2019-03-29
Applicant: 温州大学激光与光电智能制造研究院 , 温州大学
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种用于集成电路连接的微米级冷焊接手动装置。本发明通过以下技术方案实现,包括:送线机构(主要由第一底座、第一竖杆、丝杠、轴承座、轴承、第一滑杆、丝杠螺母、丝杠螺母座、丝杠扭动帽、横梁链接块、短横梁、长横梁、第一可转角度支架、不可转角度支架、挂线钩、固线杆、线夹子组成),工作台(设置在所述送线机构一侧,主要由圆台、第一滑块、第二底座、第二滑杆、调节螺栓组成),高倍显微镜和点胶机构。本发明的优点在于:代替激光焊接,连接线与样品之间采用导电胶连接,为常温焊接,不对材料微结构造成损坏;代替传统手持式液体焊接,提高焊接的精准度,同时减少失误率。
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公开(公告)号:CN110907825A
公开(公告)日:2020-03-24
申请号:CN201911110790.8
申请日:2019-11-14
Abstract: 本发明公开一种无刷直流电机原型机的测试工装,包括步进电机、步进电机法兰盘、同步带轮、上支撑板、电机夹具基座、下支撑板、定子夹具、可更换轴承支座、基座滑杆、丝杆,支撑板主体限定有z轴移动的通道;电机夹具基座可在z轴移动的通道移动,可停留在范围内任意位置;定子夹具用于安装电机的定子;直流电机转子转轴用于装配转子并与可拆换轴承支座配合;可更换轴承支座用于更换测试轴承。根据本发明实施例的无刷直流电机原型机的测试工装,可以调整电机夹具基座的高度,来适应转子轴上转子的高度,定子夹具可以安装多个型号,多个尺寸的电机的定子,转子轴端与轴承支座通过轴承配合,可以根据测试需求,来更换恰当的轴承。
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公开(公告)号:CN110643353B
公开(公告)日:2023-05-12
申请号:CN201911054024.4
申请日:2019-10-31
Applicant: 温州大学激光与光电智能制造研究院 , 温州大学
Abstract: 本发明涉及一种反应条件温和、反应时间短、产物稳定性高的一种超声辅助核壳氧化锌量子点的制备方法。采用的技术方案,包括的制备方法如下:步骤1:在超声波环境中将含锌无机盐置于醇类有机溶剂中,形成ZnO前驱体悬浊液A;步骤2:将强碱在搅拌环境中充分溶解在醇类有机溶剂中,获得澄清溶液B;步骤3:在超声波环境中,将步骤2所得的澄清溶液B逐滴加入步骤1所得的悬浊液A中,并任其在超声波环境下实现充分反应,反应时间为10‑40min,获得溶液C;步骤4:将步骤3反应后的溶液C加入到非极性溶剂中,静置沉淀,在一定速度下离心后,移去上清液,获得初始沉淀物,随后加入醇类有机溶剂,在超声环境中分散该沉淀物;步骤5:重复步骤4两次以上,可得到纯净的ZnO量子点沉淀物。
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公开(公告)号:CN109979855B
公开(公告)日:2021-03-30
申请号:CN201910250642.X
申请日:2019-03-29
Applicant: 温州大学激光与光电智能制造研究院 , 温州大学
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种用于集成电路连接的微米级冷焊接手动装置。本发明通过以下技术方案实现,包括:送线机构(主要由第一底座、第一竖杆、丝杠、轴承座、轴承、第一滑杆、丝杠螺母、丝杠螺母座、丝杠扭动帽、横梁链接块、短横梁、长横梁、第一可转角度支架、不可转角度支架、挂线钩、固线杆、线夹子组成),工作台(设置在所述送线机构一侧,主要由圆台、第一滑块、第二底座、第二滑杆、调节螺栓组成),高倍显微镜和点胶机构。本发明的优点在于:代替激光焊接,连接线与样品之间采用导电胶连接,为常温焊接,不对材料微结构造成损坏;代替传统手持式液体焊接,提高焊接的精准度,同时减少失误率。
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公开(公告)号:CN112760611A
公开(公告)日:2021-05-07
申请号:CN202011524321.3
申请日:2020-12-22
Applicant: 温州大学激光与光电智能制造研究院 , 温州大学
IPC: C23C16/02 , C23C16/30 , C23C16/455 , H01L21/02
Abstract: 本发明公开一种用预沉积形核层提高MOCVD外延薄膜质量的优化生长方法。采用的技术方案包括以下制备方法:步骤1、将衬底或薄膜A放在MOCVD设备的反应腔中,在反应腔充满载气H2的状态下,通入含元素X的化合物作为X源,将温度、反应腔压力、沉积时间均设置在该气体化合物能够分解出X原子的参数范围内,在衬底或薄膜A的表面进行预沉积X原子层,此时X原子层吸附在衬底或者薄膜A上;该X原子层可在后续流程中与其他化合物反应生成薄膜B成分,或者与薄膜A直接形成薄膜B成分。
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公开(公告)号:CN110643353A
公开(公告)日:2020-01-03
申请号:CN201911054024.4
申请日:2019-10-31
Applicant: 温州大学激光与光电智能制造研究院 , 温州大学
Abstract: 本发明涉及一种反应条件温和、反应时间短、产物稳定性高的一种超声辅助核壳氧化锌量子点的制备方法。采用的技术方案,包括的制备方法如下:步骤1:在超声波环境中将含锌无机盐置于醇类有机溶剂中,形成ZnO前驱体悬浊液A;步骤2:将强碱在搅拌环境中充分溶解在醇类有机溶剂中,获得澄清溶液B;步骤3:在超声波环境中,将步骤2所得的澄清溶液B逐滴加入步骤1所得的悬浊液A中,并任其在超声波环境下实现充分反应,反应时间为10-40min,获得溶液C;步骤4:将步骤3反应后的溶液C加入到非极性溶剂中,静置沉淀,在一定速度下离心后,移去上清液,获得初始沉淀物,随后加入醇类有机溶剂,在超声环境中分散该沉淀物;步骤5:重复步骤4两次以上,可得到纯净的ZnO量子点沉淀物。
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公开(公告)号:CN117438340A
公开(公告)日:2024-01-23
申请号:CN202311401807.1
申请日:2023-10-26
Applicant: 温州大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H01L21/677
Abstract: 本发明涉及晶圆生产装置技术领域,具体公开了用于半导体晶圆退火的系统,包括壳体,壳体上方设有退火腔,壳体下部设有过渡腔和冷却腔,壳体底部设有支撑腔,支撑腔内设有移动结构,过渡腔分别与退火腔和冷却腔连通,冷却腔位于过渡腔一侧;退火腔内设有多个加热棒;冷却腔内设有多个制冷片;过渡腔侧部还设有驱动腔,驱动腔内设有驱动结构,驱动结构包括电动推杆,过渡腔下部设有第一接近开关;冷却腔内设有第二接近开关;第一接近开关和第二接近开关分别与电动推杆电连接;过渡腔和冷却腔之间设有隔热门,过渡腔侧部开有第一侧门,冷却腔侧部设有第二侧门。采用本方案的用于半导体的晶圆退火的系统可以提高对半导体晶圆退火的生产效率。
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公开(公告)号:CN110236457A
公开(公告)日:2019-09-17
申请号:CN201910521809.1
申请日:2019-06-17
Applicant: 温州大学
Abstract: 本发明涉及立体式环卫清理装置,其包括机架总成、以及设置在机架总成上的墙壁清扫装置;墙壁清扫装置包括设置在机架总成上的水泵、通过管路与水泵连接的墙面清扫机架、设置在墙面清扫机架四角处的墙面肩关节摆动座、根部与墙面肩关节摆动座铰接的墙面大臂驱动推杆、设置在墙面大臂驱动推杆端部的墙面大臂件、根部与墙面大臂件端部铰接的墙面小臂件;本发明设计合理、结构紧凑且使用方便。
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