轨道交通协同调度方法、装置、电子设备和存储介质

    公开(公告)号:CN119647801A

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202311188372.7

    申请日:2023-09-14

    Abstract: 本公开涉及一种轨道交通协同调度方法、装置、电子设备和存储介质,确定包括至少一个线路的轨道交通路网,每个线路包括至少两个车站,每两个车站之间为一个运行区间。确定轨道交通路网对应的约束条件和描述客流需求不确定性的客流需求矩阵,客流需求矩阵中包括的多个元素符合同一种分布。根据约束条件和客流需求矩阵求解轨道交通路网的最优全局运能属性集合,再确定最优全局运能属性集合对应的调度方案为轨道交通路网的目标调度方案,用于表征轨道交通路网中每个车站的调度策略。本公开可以通过确定客流需求矩阵实现在客流需求不确定性条件下进行区域轨道交通车流和客流的协同优化问题,准确、灵活地得到最优的协同调度方案。

    用于CMP抛光液的紫外催化方法

    公开(公告)号:CN105563341A

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201610105596.0

    申请日:2016-02-25

    Applicant: 清华大学

    CPC classification number: B24B57/02 H01L21/304

    Abstract: 本发明公开了一种用于CMP抛光液的紫外催化方法,在所述抛光液中添加N型半导体颗粒催化剂,利用自转的抛光头夹持晶圆以在抛光盘上对所述晶圆进行化学机械抛光,其中,在所述化学机械抛光过程中,利用紫外线对在晶圆与抛光盘之间流动的抛光液进行照射,以使所述抛光液中的N型半导体颗粒催化剂被紫外线催化氧化形成促进抛光的氧化性物质。根据本发明的用于CMP抛光液的紫外催化方法,通过在抛光液中添加N型半导体颗粒催化剂,并在抛光过程中利用紫外线对于抛光液进行照射,使抛光液中的N型半导体颗粒催化剂可以被催化氧化形成氧化性物质,促进抛光,从而可以提高材料的去除率,快速获得平坦表面。

    一种交变磁场三维分布测量装置

    公开(公告)号:CN103777152A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201410055837.6

    申请日:2014-02-19

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 一种交变磁场三维分布测量装置,属于中频强交变磁场检测的设备领域,包括由一组三维磁场探头组成的三维磁场探头阵列,进行信号采集、处理、模数转换和参数计算的信号采集处理单元和信号模数转换单元,控制探头按照操作指令运动、实时反馈探头位置信息的探头运动装置和探头运动控制单元,以及实现人机交互的人机界面,本发明可以测量的磁场频率范围为10kHz~1MHz,可测量的磁场强度范围为1~100kA/m,可测量的空间范围由运动装置的尺寸决定,一般为200mm×200mm×200mm的立方体区域;可测量得到测量点的磁场频率、三维磁场强度分量、合成的总磁场强度和磁场方向,以及三维磁场参数的空间分布。

    抛光液、抛光机以及抛光方法

    公开(公告)号:CN105773399A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201610186551.0

    申请日:2016-03-29

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明提出了抛光液、抛光机以及抛光方法。该方法包括:将抛光液添加在待抛光的晶圆表面上,同时采用紫外灯照射所述抛光液,以便完成所述化学机械抛光,其中,所述抛光液包括:抛光颗粒;氧化剂;光催化剂;以及去离子水。利用紫外灯对抛光液进行照射,能够使光催化剂催化附着在光催化剂表面的物质发生氧化反应,产生更多强氧化剂,进而可以提高该抛光液对待抛光材料的氧化效果,从而可以增强化学机械抛光过程对待抛光材料表面的材料去除程度,有利于快速获得光滑平坦的表面。

    总线式智能测控模块
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN202632075U

    公开(公告)日:2012-12-26

    申请号:CN201220221388.4

    申请日:2012-05-15

    Applicant: 清华大学

    CPC classification number: Y02P80/114 Y02P90/02 Y02P90/14

    Abstract: 本实用新型公开了一种总线式智能测控模块,属于工业测量控制领域。包括信号调理电路、总线通讯模块、接口隔离保护电路、控制采集单元,总线接头。其特征在于:信号调理电路采用仪表运放和电流电压转换芯片将各种信号转换成电压信号,以AVR单片机为核心的控制采集单元采集电压信号,并将结果通过内部的电子数据表格TEDS进行校正和处理,然后通过总线通讯模块将数据传输给上位机。接口隔离电路用来对总线进行保护,总线接头实现设备的互联,是测控模块电源和数据总线的输入输出物理接口。 本实用新型具有在降低成本的同时实现工业设备的高效测量控制,可靠性高,通讯协议透明的有益效果。

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