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公开(公告)号：CN117190994A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311088706.3
申请日：2023-08-28
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本公开涉及一种针对半球谐振子的质量调平系统及质量调平方法，所述系统包括：激励模块用于激励待调平的半球谐振子产生振动；激光干涉仪包括至少两个检测探头，至少两个检测探头用于采集半球谐振子的至少两个位置的振动信息；离子束刻蚀模块，用于使用离子束对半球谐振子进行刻蚀；控制模块用于根据半球谐振子在振动衰减过程中的至少两个位置的振动信息，确定半球谐振子的振动主轴的方位以及频率裂解的大小；根据半球谐振子的振动主轴的方位以及频率裂解的大小，控制离子束刻蚀模块使用离子束对半球谐振子进行刻蚀，以实现对半球谐振子的质量调平。由此，能够实现更高精度的质量调平且自动化程度高，同时不会降低半球谐振子的品质因数。
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