公开(公告)号：CN100570324C

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN200710120711.2

申请日：2007-08-24

Applicant: 清华大学

Inventor： 李喜德 ,  吴文旺 ,  章玮宝 ,  蔺书田

IPC: G01N3/28 ,  G01N3/00 ,  G01N19/00 ,  G01N13/16 ,  G01B11/16

Abstract: 一种薄膜单轴双向微拉伸装置及薄膜变形的测量方法，属于精密机械领域。该装置利用两个压电陶瓷8分别从两个方向推动可沿滑轨2移动的滑块4与可调滑块3，滑块4及可调滑块3与支架1之间通过限位弹簧9进行限位，滑块4及可调滑块3上固接有的力传感臂6，力传感臂6顶端接载物台，在测量时，首先将待测的薄膜试件夹在载物台上，然后对压电陶瓷8连续施加电压，使两个力传感臂6向相反方向发生微位移，同时通过图像实时采集系统和附在力传感臂6上的应变片5记录薄膜变形图像和力学参数。使用该装置和测量方法能够在测量过程中连续观察测量区，并可通过不同量程的力传感臂进行较宽范围的测量。

公开(公告)号：CN101109680A

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：CN200710120711.2

申请日：2007-08-24

Applicant: 清华大学

Inventor： 李喜德 ,  吴文旺 ,  章玮宝 ,  蔺书田

IPC: G01N3/28 ,  G01N3/00 ,  G01N19/00 ,  G01N13/16 ,  G01B11/16

Abstract: 一种薄膜单轴双向微拉伸装置及薄膜变形的测量方法，属于精密机械领域。该装置利用两个压电陶瓷8分别从两个方向推动可沿滑轨2移动的滑块4与可调滑块3，滑块4及可调滑块3与支架1之间通过限位弹簧9进行限位，滑块4及可调滑块3上固接有的力传感臂6，力传感臂6顶端接载物台，在测量时，首先将待测的薄膜试件夹在载物台上，然后对压电陶瓷8连续施加电压，使两个力传感臂6向相反方向发生微位移，同时通过图像实时采集系统和附在力传感臂6上的应变片5记录薄膜变形图像和力学参数。使用该装置和测量方法能够在测量过程中连续观察测量区，并可通过不同量程的力传感臂进行较宽范围的测量。

公开(公告)号：CN201666845U

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：CN200920217839.5

申请日：2009-09-30

Applicant: 清华大学

Inventor： 徐曼琼 ,  蔺书田

IPC: G01M5/00

Abstract: 本实用新型公开了一种构件刚度测试平台，其特征在于：构件的两个端点分别安装全反射镜M0、全反射镜M1，激光器发出的激光光束分别通过全反射镜M4、半反射镜M3后分别将光束反射到全反射镜M0、全反射镜M1上，光束经过全反射镜M0、全反射镜M1反射后投射到屏幕上形成光斑A0′、A1′，由屏幕读取光斑A0′、A1′的坐标值。在构件的自由端施加载荷P以后，光束经过全反射镜M0、全反射镜M1反射后投射到屏幕上形成光斑A0″、A1″，由屏幕读取光斑A0″、A1″的坐标值，光斑A0″、A1″的坐标值分别减去光斑A0′、A1′坐标值，得到位移差值Δ0、Δ，位移差值Δ减去Δ0可求出全反射镜M1安装位置相对全反射镜M0安装位置的相对刚度，根据测得的位移差值可计算构件的弯曲或扭转刚度，该实用新型公开的测试平台测试精度高，可以测试微纳米量级的变形。