电子虚拟样板非球面检测方法

    公开(公告)号:CN1529151A

    公开(公告)日:2004-09-15

    申请号:CN200310100204.4

    申请日:2003-10-10

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 电子虚拟样板非球面检测方法,属于先进光学制造与检测技术领域。本发明将计算机模拟出的三幅等位相差理论非球面干涉条纹作为参考波前;将由数字波面干涉仪直接测得的被检验非球面的实际条纹一维印板用高分辨率的CCD摄像头拍摄并由图像采集卡传输至计算机中;通过对实际条纹信息进行数字叠加,获得三幅等位相差的数字电子叠栅条纹;进行去噪处理、位相计算后,进行波前重构,从而获得被检测面连续面形条纹分布。本发明克服了传统零位补偿检验中补偿器专用性、装调复杂、耗时、受环境因素影响大等缺点,具有快速、准确、针对性强等优点,具有广阔的市场前景。

    可控温抛光工具
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100427271C

    公开(公告)日:2008-10-22

    申请号:CN200410030782.X

    申请日:2004-04-09

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了属于精密曲面加工工具领域的一种可控温抛光工具。该抛光工具的圆盘形的传热基板和抛光头基底之间的绝缘层中间平铺微型温控继电器及加热器。抛光胶粘附在传热基板的外表面上。该抛光胶的表面形状与被抛光面相同。本发明解决了现有计算机控制小抛光头抛光中的抛光胶层温度不可控、面形吻合度差、抛光去除量不稳定的缺点问题,能够提供更高效率的抛光加工需要,并能够实现对抛光胶层面形吻合度的有效控制。本发明适用于抛光各种尺寸和形状的光学镜面。

    可控温抛光工具
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1562571A

    公开(公告)日:2005-01-12

    申请号:CN200410030782.X

    申请日:2004-04-09

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了属于精密曲面加工工具领域的一种可控温抛光工具。该抛光工具为圆盘形,在传热基板和抛光头基底之间的绝缘层中间平铺微型温控继电器及加热器。抛光胶粘附在传热基板的外表面上。该抛光胶的表面形状与被抛光面相同。本发明解决了现有计算机控制小抛光头抛光中的抛光胶层温度不可控、面形吻合度差、抛光去除量不稳定的缺点问题,能够提供更高效率的抛光加工需要,并能够实现对抛光胶层面形吻合度的有效控制。本发明适用于抛光各种尺寸和形状的光学镜面。

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