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公开(公告)号：CN1529151A
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN200310100204.4
申请日：2003-10-10
Applicant: 清华大学
Abstract: 电子虚拟样板非球面检测方法，属于先进光学制造与检测技术领域。本发明将计算机模拟出的三幅等位相差理论非球面干涉条纹作为参考波前；将由数字波面干涉仪直接测得的被检验非球面的实际条纹一维印板用高分辨率的CCD摄像头拍摄并由图像采集卡传输至计算机中；通过对实际条纹信息进行数字叠加，获得三幅等位相差的数字电子叠栅条纹；进行去噪处理、位相计算后，进行波前重构，从而获得被检测面连续面形条纹分布。本发明克服了传统零位补偿检验中补偿器专用性、装调复杂、耗时、受环境因素影响大等缺点，具有快速、准确、针对性强等优点，具有广阔的市场前景。
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