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公开(公告)号：CN119756321A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411868070.9
申请日：2024-12-17
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本申请提供一种半球谐振陀螺仪，包括半球谐振子、驱动电基板和检测电基板，半球谐振子为半球型结构，驱动电基板为平板式结构，检测电基板为内球面结构。半球谐振子的内表面设置第一导电膜层、唇缘端面设置第二导电膜层，检测电基板设有检测电极，驱动电基板设有电位电极和驱动电极。检测电极与第一导电膜层形成检测电容，驱动电极与第二导电膜层形成驱动电容。通过使检测电极和驱动电极分离设置，可降低驱动信号和检测信号的耦合。通过使检测电基板为内球面结构，可增大检测电极与第一导电膜层形成检测电容的面积，提高检测信号的强度。通过使驱动电基板为平板式结构，在驱动电基板设有电位电极和驱动电极，可以降低加工和装配难度。
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