-
公开(公告)号：CN103449328B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201310397381.7
申请日：2013-09-04
Applicant: 清华大学
IPC: B66F3/02
Abstract: 本发明涉及一种手动便携抬升装置，该抬升装置包括一两端去除一部分腹板的工字立柱，两分别滑动套装于所述工字立柱的开口面上的槽型立柱，两分别转动安装于所述工字立柱两端的翼板之间的齿轮轴，两分别固定安装于所述齿轮轴上的传动齿轮，两分别固定于所述槽型立柱的槽底面且与所述传动齿轮啮合的直齿轮结构，一用于驱动某一所述齿轮轴转动的驱动器，以及一用于带动另一所述齿轮轴同步转动的传动机构。本发明由于可以采用单人手动操作，因此使用局限性小，应用范围广，不受地域限制，可广泛应用于偏远山区等大型设备无法到达的地区。同时，本发明还具有轻巧便携、操作简便、使用成本低等特点，因此也可广泛应用于大量难度较低的日常检修工作。
-
公开(公告)号：CN103449328A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310397381.7
申请日：2013-09-04
Applicant: 清华大学
IPC: B66F3/02
Abstract: 本发明涉及一种手动便携抬升装置，该抬升装置包括一两端去除一部分腹板的工字立柱，两分别滑动套装于所述工字立柱的开口面上的槽型立柱，两分别转动安装于所述工字立柱两端的翼板之间的齿轮轴，两分别固定安装于所述齿轮轴上的传动齿轮，两分别固定于所述槽型立柱的槽底面且与所述传动齿轮啮合的直齿轮结构，一用于驱动某一所述齿轮轴转动的驱动器，以及一用于带动另一所述齿轮轴同步转动的传动机构。本发明由于可以采用单人手动操作，因此使用局限性小，应用范围广，不受地域限制，可广泛应用于偏远山区等大型设备无法到达的地区。同时，本发明还具有轻巧便携、操作简便、使用成本低等特点，因此也可广泛应用于大量难度较低的日常检修工作。
-
公开(公告)号：CN101934163B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201010255165.5
申请日：2010-08-16
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种气体辅助液体反冲洗过滤器的方法及装置，本发明方法包括以下步骤：1)在一中间设置有管板，管板上设置有若干管状滤材，管板上、下设置有滤前腔和滤后腔的过滤器底部设置一进液阀和一排污阀、顶部设置一出液阀和一进气阀；2)反冲洗时，关闭进液阀和出液阀，首先向滤前腔内预进气，然后开启进气阀，通过高压气体推动滤后腔内的液体高速反向穿过管状滤材，实现对管状滤材的反冲洗。本发明装置特征在于：所述进气阀和排污阀的开启时间均小于0.5秒，且排污阀的开孔通径大于200毫米；或者所述滤前腔内设置一气囊，滤前腔上设置一排液口和一连通气囊的充气口；或者所述滤前腔外侧设置一与其连通的盲管，滤前腔上设置一排液口和一连通盲管的充气口。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102610543A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210016664.8
申请日：2012-01-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室属于半导体制造设备设计技术领域。包括上盖、匀气盘、腔体、可替换内衬、内衬支架、基座、排气装置、流场检测空间以及气压检测引管，所述流场检测空间为圆柱形，圆柱体的直径可通过更换所述可替换内衬进行调节，圆柱体的高度可通过基座的升降进行调节，进而改变所述流场检测空间的结构尺寸。该结构可用于进行刻蚀、等离子体增强/化学气相沉积(PE/CVD)、物理气相沉积(PVD)以及氧化扩散工艺等具有腔室类共同特点的低压气相加工工艺试验。可以检测不同结构腔室内部空间及各气路上的压力参数，研究低压气相加工工艺中各项参数的影响规律，并可显著提高IC装备腔室部件优化设计的可信度。
-
公开(公告)号：CN101934163A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201010255165.5
申请日：2010-08-16
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种气体辅助液体反冲洗过滤器的方法及装置，本发明方法包括以下步骤：1)在一中间设置有管板，管板上设置有若干管状滤材，管板上、下设置有滤前腔和滤后腔的过滤器底部设置一进液阀和一排污阀、顶部设置一出液阀和一进气阀；2)反冲洗时，关闭进液阀和出液阀，首先向滤前腔内预进气，然后开启进气阀，通过高压气体推动滤后腔内的液体高速反向穿过管状滤材，实现对管状滤材的反冲洗。本发明装置特征在于：所述进气阀和排污阀的开启时间均小于0.5秒，且排污阀的开孔通径大于200毫米；或者所述滤前腔内设置一气囊，滤前腔上设置一排液口和一连通气囊的充气口；或者所述滤前腔外侧设置一与其连通的盲管，滤前腔上设置一排液口和一连通盲管的充气口。
-
公开(公告)号：CN102610543B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201210016664.8
申请日：2012-01-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室属于半导体制造设备设计技术领域。包括上盖、匀气盘、腔体、可替换内衬、内衬支架、基座、排气装置、流场检测空间以及气压检测引管，所述流场检测空间为圆柱形，圆柱体的直径可通过更换所述可替换内衬进行调节，圆柱体的高度可通过基座的升降进行调节，进而改变所述流场检测空间的结构尺寸。该结构可用于进行刻蚀、等离子体增强/化学气相沉积(PE/CVD)、物理气相沉积(PVD)以及氧化扩散工艺等具有腔室类共同特点的低压气相加工工艺试验。可以检测不同结构腔室内部空间及各气路上的压力参数，研究低压气相加工工艺中各项参数的影响规律，并可显著提高IC装备腔室部件优化设计的可信度。
-
公开(公告)号：CN101858458B
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201010199755.0
申请日：2010-06-08
Applicant: 清华大学
IPC: F16K31/122 , F16J10/02
Abstract: 本发明涉及一种驱动阀门的气动执行器，包括气缸体，设置在气缸体内的活塞，活塞的限位机构，设置在气缸体两端的端盖，连接活塞的传动机构和由传动机构驱动的执行器轴，气缸体被活塞分隔成内腔和外腔，内、外腔分别通过气道与气源控制阀门连接；其特征在于：内腔的壁面上开设有连通大气的通气孔，其开孔位置与活塞行程的极限位置之间留有间隙，开孔面积不小于活塞面积的5‰，最佳为活塞面积的1％以上，通气孔外设置有控制阀。本发明中通气孔控制阀的启闭与内、外腔的接气断气控制联动，可以实现内、外腔与气源和大气的快速连通，从而能够按设定的动作顺序快速完成蝶阀的开启和球阀的启闭动作。本发明可以广泛用于各种200毫米以上大口径阀门的驱动过程。
-
公开(公告)号：CN101858458A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010199755.0
申请日：2010-06-08
Applicant: 清华大学
IPC: F16K31/122 , F16J10/02
Abstract: 本发明涉及一种驱动阀门的气动执行器，包括气缸体，设置在气缸体内的活塞，活塞的限位机构，设置在气缸体两端的端盖，连接活塞的传动机构和由传动机构驱动的执行器轴，气缸体被活塞分隔成内腔和外腔，内、外腔分别通过气道与气源控制阀门连接；其特征在于：内腔的壁面上开设有连通大气的通气孔，其开孔位置与活塞行程的极限位置之间留有间隙，开孔面积不小于活塞面积的5‰，最佳为活塞面积的1％以上，通气孔外设置有控制阀。本发明中通气孔控制阀的启闭与内、外腔的接气断气控制联动，可以实现内、外腔与气源和大气的快速连通，从而能够按设定的动作顺序快速完成蝶阀的开启和球阀的启闭动作。本发明可以广泛用于各种200毫米以上大口径阀门的驱动过程。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.036 seconds)
