基于冷场电子检测生化物质的芯片、制作方法及检测方法

    公开(公告)号:CN101738417A

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200910219376.0

    申请日:2009-12-08

    Applicant: 清华大学

    Inventor: 刘泽文 田昊 张荣

    Abstract: 基于冷场电子检测生化物质的芯片、制作方法及检测方法,芯片包括从下往上依次设置的衬底、第二绝缘层和固定极,第二绝缘层上面还设置有第一绝缘层,第一绝缘层上有通孔,固定极位于该通孔内,第一绝缘层上面分别设置有接收极和发射极,接收极和发射极相对设置于第一绝缘层上通孔的两侧,接收极和发射极之间的直线距离为1μm~20μm。采用现有方法在硅片上依次生成第二绝缘层和固定极,在第二绝缘层上面生成第一绝缘层,利用微成型工艺在第一绝缘层上生成通孔,将固定极露出,在第一绝缘层上面制作接收极和发射极。将芯片、电源和电流表组成电路,通过测定该电路中电流强度的变化,实现对被测生化物质的特异性定量检测。

    基于冷场电子检测生化物质的芯片及检测方法

    公开(公告)号:CN101738417B

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN200910219376.0

    申请日:2009-12-08

    Applicant: 清华大学

    Inventor: 刘泽文 田昊 张荣

    Abstract: 基于冷场电子检测生化物质的芯片、制作方法及检测方法,芯片包括从下往上依次设置的衬底、第二绝缘层和固定极,第二绝缘层上面还设置有第一绝缘层,第一绝缘层上有通孔,固定极位于该通孔内,第一绝缘层上面分别设置有接收极和发射极,接收极和发射极相对设置于第一绝缘层上通孔的两侧,接收极和发射极之间的直线距离为1μm~20μm。采用现有方法在硅片上依次生成第二绝缘层和固定极,在第二绝缘层上面生成第一绝缘层,利用微成型工艺在第一绝缘层上生成通孔,将固定极露出,在第一绝缘层上面制作接收极和发射极。将芯片、电源和电流表组成电路,通过测定该电路中电流强度的变化,实现对被测生化物质的特异性定量检测。

    一种芯片式加热器件
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101294854A

    公开(公告)日:2008-10-29

    申请号:CN200710098624.1

    申请日:2007-04-23

    Abstract: 本发明涉及一种芯片式加热器件,其特征在于,它包括:一膜状基底,在所述膜状基底上设置有至少一根电热丝,上述电热丝通过平面拓扑结构设计,分成两个边缘区和一个被所述边缘区包围的中间有效区,在所述膜状基底上设置有至少四个电极,所述电热丝的两端分别连接一个所述电极,在上述加热丝的中间有效区与两个边缘区交界的位置各引出一根测试导线,两所述测试导线分别连接在另外两个所述电极上。本发明将被测试温度的电热丝围在边缘区的里面,有效地解决了电热丝的冷端测量问题,使测量精度十分精确。本发明结构简洁、测控精度高,它可以广泛用于生化分析、工业仪器等需要在小尺寸范围进行温度控制的领域。

    一种芯片式加热器件
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101294854B

    公开(公告)日:2010-12-01

    申请号:CN200710098624.1

    申请日:2007-04-23

    Abstract: 本发明涉及一种芯片式加热器件,其特征在于,它包括:一膜状基底,在所述膜状基底上设置有至少一根电热丝,上述电热丝通过平面拓扑结构设计,分成两个边缘区和一个被所述边缘区包围的中间有效区,在所述膜状基底上设置有至少四个电极,所述电热丝的两端分别连接一个所述电极,在上述加热丝的中间有效区与两个边缘区交界的位置各引出一根测试导线,两所述测试导线分别连接在另外两个所述电极上。本发明将被测试温度的电热丝围在边缘区的里面,有效地解决了电热丝的冷端测量问题,使测量精度十分精确。本发明结构简洁、测控精度高,它可以广泛用于生化分析、工业仪器等需要在小尺寸范围进行温度控制的领域。

    一种微纳升体系流体芯片的检测系统及检测方法

    公开(公告)号:CN100535644C

    公开(公告)日:2009-09-02

    申请号:CN200710122151.4

    申请日:2007-09-21

    Abstract: 本发明涉及一种微纳升体系流体芯片检测系统及检测方法,其特征在于:它包括入射光生成系统、双焦面荧光收集系统、收集光处理系统、循环流动立体温控载物台以及微流体芯片;入射光生成系统至少包括有一光源和一设置在光源输出端的聚光镜;双焦面荧光收集系统包括前、后两个成像透镜组和一设置在后透镜组输出端的探测器;收集光处理系统包括一与探测器输出端连接的A/D采集卡,一与A/D采集卡输出端连接的计算机;温控载物台包括一承载微流体芯片的运动平台,围绕在运动平台周围的传热介质,设置在传热介质周围的加热器和设置在加热器外面的是保温装置;计算机通过运动控制器连接运动平台,且通过一温控反馈电路连接加热器和温度传感器。本发明结构简单、成本低廉、荧光收集效率与检测灵敏度高、操作使用方便,使得本发明更加利于推广和普及。

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