公开(公告)号：CN118631095A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410645953.7

申请日：2024-05-22

申请人： 深圳市新凯来工业机器有限公司

发明人： 方庆银 ,  苏迎宾 ,  张璞汝

IPC分类号： H02N15/00 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  H02K7/09 ,  H02K5/26 ,  H02K11/20 ,  H02K11/21

摘要： 本申请提供一种可升降磁悬浮装置及热处理设备，磁悬浮装置包括腔室、磁悬浮定子、磁悬浮转子、升降装置和多个传感器，腔室用于容纳磁悬浮转子，磁悬浮定子环绕于腔室外周。其中，至少一个传感器与磁悬浮定子相对固定，至少一个传感器用于检测磁悬浮转子的位移，磁悬浮定子与升降装置连接，升降装置用于驱动磁悬浮定子和至少一个传感器沿磁悬浮装置轴向移动。通过将至少一个传感器与磁悬浮定子相对固定，至少一个传感器随着磁悬浮定子移动，提升传感器对磁悬浮转子检测精度，升降装置使得磁悬浮转子可实现沿磁悬浮装置轴向的大幅度升降，有利于实现尖峰退火过程中杂质活化程度最大化和杂质扩散程度最小化，还可减小热预算。