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公开(公告)号:CN116989835B
公开(公告)日:2023-12-15
申请号:CN202311241756.0
申请日:2023-09-25
申请人: 深圳市中图仪器股份有限公司
摘要: 本发明描述一种可自适应调节的导轨系统,包括运动组件、导轨组件、传动组件以及调节组件,调节组件包括可相对旋转的第一调节部和第二调节部,运动组件与第一调节部固定连接,传动组件与第二调节部固定连接,运动组件通过调节组件与传动组件连接并在传动组件的驱动下沿导轨组件限制的第一方向运动,令第一调节部和第二调节部相对旋转的轴线方向为第二方向,第一方向与第二方向不同。本发明所涉及的导轨系统具有一定柔性,能够自适应地调节运动轴系的直线度偏差,由此能够提高测量设备的精度。
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公开(公告)号:CN117824733A
公开(公告)日:2024-04-05
申请号:CN202410015880.3
申请日:2023-09-25
申请人: 深圳市中图仪器股份有限公司
IPC分类号: G01D11/30 , F16M11/04 , F16M11/18 , F16C29/02 , G01B11/30 , G01B11/24 , G01B11/02 , G01B5/00
摘要: 本发明描述一种具有自适应调节偏差功能的导轨结构,包括运动组件、导轨组件、传动组件以及调节组件,导轨组件用于导引运动组件沿第一方向运动;传动组件驱动运动组件沿第一方向运动;响应于运动组件受到偏移第一方向的传动力,调节组件配置为通过旋转方式使运动组件相对于传动组件旋转,传动力为传动组件驱动运动组件的作用力。本发明所涉及的导轨结构具有一定柔性,能够自适应地调节运动轴系的直线度偏差,由此能够提高测量设备的精度。
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公开(公告)号:CN118010027A
公开(公告)日:2024-05-10
申请号:CN202410151851.X
申请日:2024-02-02
申请人: 深圳市中图仪器股份有限公司
摘要: 本公开描述一种台阶仪的导航方法及导航系统,台阶仪包括测量机构以及可相对于测量机构运动的载台,测量机构包括视觉模块和以预设方向扫描样品的探针,导航方法包括以视觉模块的视场中心作为坐标原点建立坐标系,预设方向平行于坐标系的水平轴,使载台的样品位于视觉模块的视场以获取样品影像;基于样品影像创建与样品的待测方向相关且与载台联动的基准线,待测方向为预设的探针相对样品的移动方向;基于基准线的位置和姿态控制载台运动以使待测方向平行于预设方向,并使基准线的基准点与坐标原点重合;以基准点在预设方向上的投影与样品的交点作为扫描起始点。由此,能够提供一种能够提高摆正工件的便捷性和准确性的导航方法。
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公开(公告)号:CN117824734A
公开(公告)日:2024-04-05
申请号:CN202410027672.5
申请日:2023-09-25
申请人: 深圳市中图仪器股份有限公司
摘要: 本发明描述一种可自适应调节的运动系统,包括运动组件、导轨组件、传动组件以及调节组件,调节组件包括可相对旋转的第一调节部和第二调节部,运动组件通过调节组件与传动组件连接并在传动组件的驱动下沿导轨组件限制的第一方向运动,令第一调节部和第二调节部相对旋转的轴线方向为第二方向,第一方向与第二方向不同,运动组件与第一调节部固定连接,传动组件与第二调节部固定连接。本发明所涉及的运动系统具有一定柔性,能够自适应地调节运动轴系的直线度偏差,由此能够提高测量设备的精度。
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公开(公告)号:CN116989835A
公开(公告)日:2023-11-03
申请号:CN202311241756.0
申请日:2023-09-25
申请人: 深圳市中图仪器股份有限公司
摘要: 本发明描述一种可自适应调节的导轨系统,包括运动组件、导轨组件、传动组件以及调节组件,调节组件包括可相对旋转的第一调节部和第二调节部,运动组件与第一调节部固定连接,传动组件与第二调节部固定连接,运动组件通过调节组件与传动组件连接并在传动组件的驱动下沿导轨组件限制的第一方向运动,令第一调节部和第二调节部相对旋转的轴线方向为第二方向,第一方向与第二方向不同。本发明所涉及的导轨系统具有一定柔性,能够自适应地调节运动轴系的直线度偏差,由此能够提高测量设备的精度。
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