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发明公开
激光装置审中-实审

公开(公告)号：CN116490318A

公开(公告)日：2023-07-25

申请号：CN202180071970.9

申请日：2021-09-29

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 栗田隆史 , 吉村凉 , 牧野凉 , 泷口优

IPC分类号： B23K26/064

摘要： 一种激光装置，具备：激光光源，其出射激光；相位控制部，其用于输入自上述激光光源出射的上述激光，控制上述激光的一部分的光的空间相位并作为控制光出射，且将上述激光的另一部分的光作为非控制光出射；第1光学系统，其用于将自上述相位控制部出射的上述控制光照射于对象物；检测器，其用于检测自上述相位控制部出射的上述非控制光；第2光学系统，其用于将自上述相位控制部出射的上述非控制光朝上述检测器的检测面聚光；及控制部，其执行用于基于来自上述检测器的上述非控制光的检测结果，以修正上述相位控制部中的上述控制光的空间相位的控制状态的方式控制上述相位控制部的修正处理。