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公开(公告)号：CN117983826A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410272099.4
申请日：2024-03-11
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 本发明公开一种针对银基光敏胶的飞秒激光多光子还原增材制造方法，采用飞秒激光微加工系统，利用超强的瞬态激光能量密度，在激光聚焦处诱发多光子非线性吸收效应，引起银基光敏胶在聚焦光斑处发生原位还原和聚合固化反应；聚焦光斑以外的空间位置由于光强不足且波长较长无法诱导单光子和多光子吸收，不发生原位还原和聚合反应，保持液相态；根据三维结构模型的切片扫描路径数据，扫描移动激光光斑，逐点还原构建基于银基光敏胶的三维微纳银结构。本发明的银基光敏胶在波长为1030nm的飞秒激光下发生原位还原与聚合固化，并且基于不同的三维结构模型，显影后获得不同形状的银基微纳结构，所制备银基导线结构的电导率接近纯银。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113198801A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110482134.1
申请日：2021-04-30
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 一种空间约束双束激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法，所述方法包括以下步骤：1)，将待清洗基体粘结在三维移动平台上，移动三维移动平台使所述待清洗基板位于激光脉冲聚焦点及腔体出口处；2)，利用第一脉冲激光束和第二脉冲激光束聚焦在腔体内诱导气体击穿产生等离子体冲击波，经过腔体内表面的反射增强冲击波强度，使得待清洗基体表面上的微纳米颗粒污染物在冲击波去除力的作用下从待清洗基板表面飞离。本发明提供了一种空间约束双束激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法，能有效提高基板表面清洗面积，提高清洗效率。
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公开(公告)号：CN113210357A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110441222.7
申请日：2021-04-23
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 一种时间调控双束激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法，将待清洗基板放在三维移动平台上，移动三维移动平台使待清洗基板表面位于激光聚焦焦点下方；通过两聚焦镜将双束脉冲激光束聚焦于待清洗基板表面上方气体中诱导气体击穿，所述双束脉冲激光束由两个激光器产生得到，双束脉冲激光束之间的延迟时间由数字延迟发生器调控，两光束之间的时间间隔在0‑100μs之间；产生等离子体冲击波，在冲击波力作用下，待清洗基板上的微纳米颗粒污染物被擦除，从待清洗基板表面飞离。以及提供一种时间调控双束激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒装置。本发明能在保留传统激光诱导等离子体清洗技术优势的同时能有效去除冲击波正下方的残余颗粒，提高清洗效率。
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公开(公告)号：CN113172048A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110464483.0
申请日：2021-04-28
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 一种同步检测脉冲激光诱导冲击波颗粒去除方法，先在工件表面随机取点检测清洗前待清洗工件表面的颗粒数目；计算待清洗工件单位面积的颗粒密度，判断是否需要激光诱导冲击波清洗；若不需要清洗，则可检测下一工件，反之则启动清洗流程，即使用激光诱导气体击穿产生等离子体冲击波去除待清洗工件表面颗粒；清洗后对工件表面再次取点检测，重复上述流程直到系统判断工件不需要清洗。以及提供一种同步检测脉冲激光诱导冲击波颗粒去除装置。本发明使用光学显微镜检测，成本低且使用方便；与脉冲激光清洗结合可以有效地定位去除工件表面颗粒污染物；使用同步检测与清洗大大节约了时间。
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公开(公告)号：CN113102390A
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202110464401.2
申请日：2021-04-28
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 一种磁场约束双束脉冲激光诱导冲击波清洗微纳颗粒方法，包括以下步骤：1)将待清洗基板粘结在三维移动平台上，移动三维移动平台使待所述待清洗基板位于激光脉冲聚焦焦点正下方处；2)利用脉冲激光束和脉冲激光束聚焦在永磁铁N极和永磁铁S极之间诱导气体击穿产生等离子体冲击波，使得待清洗基板表面上的微纳米颗粒污染物在冲击波去除力的作用下从待清洗基板表面飞离。本发明在保留了双光束脉冲激光诱导冲击波清洗的绿色环保、控制方便、有效去除清洗盲区的优势的同时，能通过磁场的约束作用增强等离子体强度与存续时间，增强冲击波的强度，提高基板的清洗面积与清洗效率。
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公开(公告)号：CN113058935A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110482169.5
申请日：2021-04-30
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 一种水下双束脉冲激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法，包括以下步骤：1)，将待清洗基板固定在三维移动平台上，将第一脉冲激光束和第二脉冲激光束聚焦到水箱内同一点，移动三维移动平台使待清洗基板表面位于双束脉冲激光聚焦点正上方；2)，利用第一脉冲激光束和第二脉冲激光束聚焦在待清洗基板表面上方诱导液体击穿产生等离子体冲击波，在冲击波去除力的作用下，待清洗基板表面上的微纳米颗粒污染物从待清洗基板表面飞离。本发明提供一种水下双束脉冲激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法，能有效提高基板的清洗面积与清洗效率。
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