公开(公告)号：CN106289591B

公开(公告)日：2022-03-11

申请号：CN201610646775.5

申请日：2016-08-09

申请人： 浙江大学昆山创新中心

发明人： 周亚军 ,  郭维 ,  王林 ,  程丁儒

IPC分类号： G01L1/14

摘要： 本发明公开了一种渐开线型柔性电容式压力传感器，包括：基底层、电极层、介质层，所述基底层、电极层、介质层从下至上依次设置；所述电极层包括：多个电容、电极，所述电容呈矩阵结构排列在基底层顶面，每个电容包括：圆盘电容、渐开线、弯曲线、电容电极，所述圆盘电容外侧边源分别引出两根渐开线，每根渐开线末端均连接有弯曲线，每根弯曲线末端均连接有电容电极；所述基底层顶面四角均设置有电极；所述基底层、介质层均采用PDMS聚二甲基硅氧烷或PI聚酰亚胺或PET聚对苯二甲酸乙二醇酯或柔性玻璃或金属箔或试纸。本设计电容电极的延展伸缩性得到有效的提升，能够在使用电容电极的前提下提高器件的柔性性能。

公开(公告)号：CN106289591A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610646775.5

申请日：2016-08-09

申请人： 浙江大学昆山创新中心

发明人： 周亚军 ,  郭维 ,  王林 ,  程丁儒

IPC分类号： G01L1/14

CPC分类号： G01L1/14

摘要： 本发明公开了一种渐开线型柔性电容式压力传感器，包括：基底层、电极层、介质层，所述基底层、电极层、介质层从下至上依次设置；所述电极层包括：多个电容、电极，所述电容呈矩阵结构排列在基底层顶面，每个电容包括：圆盘电容、渐开线、弯曲线、电容电极，所述圆盘电容外侧边源分别引出两根渐开线，每根渐开线末端均连接有弯曲线，每根弯曲线末端均连接有电容电极；所述基底层顶面四角均设置有电极；所述基底层、介质层均采用PDMS聚二甲基硅氧烷或PI聚酰亚胺或PET聚对苯二甲酸乙二醇酯或柔性玻璃或金属箔或试纸。本设计电容电极的延展伸缩性得到有效的提升，能够在使用电容电极的前提下提高器件的柔性性能。

公开(公告)号：CN206114155U

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201620855622.7

申请日：2016-08-09

申请人： 浙江大学昆山创新中心

发明人： 周亚军 ,  郭维 ,  王林 ,  程丁儒

IPC分类号： G01L1/14

摘要： 本实用新型公开了一种渐开线型柔性电容式压力传感器，包括：基底层、电极层、介质层，所述基底层、电极层、介质层从下至上依次设置；所述电极层包括：多个电容、电极，所述电容呈矩阵结构排列在基底层顶面，每个电容包括：圆盘电容、渐开线、弯曲线、电容电极，所述圆盘电容外侧边缘分别引出两根渐开线，每根渐开线末端均连接有弯曲线，每根弯曲线末端均连接有电容电极；所述基底层顶面四角均设置有电极；所述基底层、介质层均采用PDMS聚二甲基硅氧烷或PI聚酰亚胺或PET聚对苯二甲酸乙二醇酯或柔性玻璃或金属箔或试纸。本设计电容电极的延展伸缩性得到有效的提升，能够在使用电容电极的前提下提高器件的柔性性能。