一种渐开线型柔性电容式压力传感器及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种渐开线型柔性电容式压力传感器,包括:基底层、电极层、介质层,所述基底层、电极层、介质层从下至上依次设置;所述电极层包括:多个电容、电极,所述电容呈矩阵结构排列在基底层顶面,每个电容包括:圆盘电容、渐开线、弯曲线、电容电极,所述圆盘电容外侧边源分别引出两根渐开线,每根渐开线末端均连接有弯曲线,每根弯曲线末端均连接有电容电极;所述基底层顶面四角均设置有电极;所述基底层、介质层均采用PDMS聚二甲基硅氧烷或PI聚酰亚胺或PET聚对苯二甲酸乙二醇酯或柔性玻璃或金属箔或试纸。本设计电容电极的延展伸缩性得到有效的提升,能够在使用电容电极的前提下提高器件的柔性性能。
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