一种兼具自动调平功能的扫描式自动对焦方法及装置

    公开(公告)号:CN112748510A

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN202110082913.2

    申请日:2021-01-21

    Abstract: 本发明提出一种兼具自动调平功能的扫描式自动对焦方法及装置,该装置包括:激光光源,用于产生对焦光束;合束装置,用于将对焦光束与光学系统工作光束合束;扫描系统,通过改变对焦光束的角度,使对焦光斑在对焦平面上移动;聚焦系统,用于将对焦光束聚焦为在物镜后焦面的对焦光斑;共焦强度探测装置,用于将对焦光斑共焦成像,并探测像点位置的光强变化;反馈运动机构,用于将探测到的光强变化转化为相应的反馈控制信号,并根据信号驱动运动机构,带动对焦对象旋转或平移,完成自动调平和自动对焦。本发明通过扫描系统控制对焦光束扫描,实现了多点对焦。与现有对焦装置相比,增加了自动调平功能,极大的扩展了该装置的应用范围。

    一种兼具自动调平功能的自动对焦方法及装置

    公开(公告)号:CN112684572B

    公开(公告)日:2022-03-29

    申请号:CN202110081498.9

    申请日:2021-01-21

    Abstract: 本发明提出一种兼具自动调平功能的自动对焦方法及装置,该装置包括:激光光源,用于产生对焦光束;分束装置,用于通过两块沃拉斯顿棱镜将单束对焦光束分束为四束对焦光束;合束聚焦系统,用于将对焦光束与光学系统工作光束合束,并将对焦光束聚焦为在物镜后焦面的四个呈菱形分布的对焦光斑;镜面角锥棱镜,用于将四束对焦光束分开;共焦强度探测装置,用于将对焦光斑共焦成像,并探测像点位置的光强变化;反馈运动机构,用于将探测到的光强变化转化为相应的反馈控制信号,并根据信号驱动运动机构,带动对焦对象旋转或平移,完成自动调平和自动对焦。本发明与现有对焦装置相比,增加了自动调平功能,极大的扩展了该装置的应用范围。

    一种兼具自动调平功能的自动对焦方法及装置

    公开(公告)号:CN112684572A

    公开(公告)日:2021-04-20

    申请号:CN202110081498.9

    申请日:2021-01-21

    Abstract: 本发明提出一种兼具自动调平功能的自动对焦方法及装置,该装置包括:激光光源,用于产生对焦光束;分束装置,用于通过两块沃拉斯顿棱镜将单束对焦光束分束为四束对焦光束;合束聚焦系统,用于将对焦光束与光学系统工作光束合束,并将对焦光束聚焦为在物镜后焦面的四个呈菱形分布的对焦光斑;镜面角锥棱镜,用于将四束对焦光束分开;共焦强度探测装置,用于将对焦光斑共焦成像,并探测像点位置的光强变化;反馈运动机构,用于将探测到的光强变化转化为相应的反馈控制信号,并根据信号驱动运动机构,带动对焦对象旋转或平移,完成自动调平和自动对焦。本发明与现有对焦装置相比,增加了自动调平功能,极大的扩展了该装置的应用范围。

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