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公开(公告)号：CN101916046B
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201010237970.5
申请日：2010-07-27
申请人： 浙江大学 , 中国科学院光电技术研究所
CPC分类号： G03F7/70108
摘要： 本发明公开了一种用于双环形均匀照明的自由曲面透镜。它包括前表面平面、后表面自由曲面和侧面圆柱面，前表面平面与后表面自由曲面通过侧面圆柱面相连接，前表面平面垂直于激光光束传播方向，后表面自由曲面用于偏折激光光束；后表面自由曲面包括第一自由曲面、第二自由曲面和圆柱面，第一自由曲面与第二自由曲面通过圆柱面相连接，自由曲面透镜关于光轴坐标轴z旋转对称；激光光束经第一自由曲面偏折，激光光束在目标面上的照明区域为对应双环形均匀照明中的内环，激光光束经第二自由曲面偏折，激光光束在目标面上的照明区域为对应双环形均匀照明中的外环；本发明结构紧凑、简单；整形效果好，能量利用率高。
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公开(公告)号：CN101916045B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN201010237966.9
申请日：2010-07-27
申请人： 浙江大学 , 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明公开了一种用于双偶极均匀照明的自由曲面透镜。它包括前表面平面、后表面自由曲面和侧面圆柱面，前表面平面与后表面自由曲面通过侧面圆柱面相连接，前表面平面垂直于激光光束传播方向，后表面自由曲面用于偏折激光光束；后表面自由曲面包括第一自由曲面、第二自由曲面、第三自由曲面、第四自由曲面和圆柱面，第一自由曲面、第二自由曲面、第三自由曲面与第四自由曲面通过圆柱面相连接，激光光束经第一自由曲面和第二自由曲面偏折，在目标面上的照明区域对应双偶极均匀照明中的内环，激光光束经第三自由曲面和第四自由曲面偏折，在目标面上的照明区域对应双偶极均匀照明中的外环；本发明结构紧凑、简单；整形效果好，能量利用率高。
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公开(公告)号：CN101916044B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201010237953.1
申请日：2010-07-27
申请人： 浙江大学 , 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明公开了一种用于双四极均匀照明的自由曲面透镜。前表面平面与后表面自由曲面通过侧面圆柱面相连接，前表面平面垂直于激光光束传播方向，后表面自由曲面用于偏折激光光束；第一自由曲面、第二自由曲面、第三自由曲面、第四自由曲面、第五自由曲面、第六自由曲面、第七自由曲面和第八自由曲面通过圆柱面相连接，激光光束经第一自由曲面、第二自由曲面、第三自由曲面和第四自由曲面偏折，在目标面上的照明区域对应双四极均匀照明中的内环，激光光束经第五自由曲面、第六自由曲面、第七自由曲面和第八自由曲面偏折，在目标面上的照明区域对应双四极均匀照明中的外环。本发明结构紧凑、简单；整形效果好，能量利用率高。
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公开(公告)号：CN101916046A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010237970.5
申请日：2010-07-27
申请人： 浙江大学 , 中国科学院光电技术研究所
CPC分类号： G03F7/70108
摘要： 本发明公开了一种用于双环形均匀照明的自由曲面透镜。它包括前表面平面、后表面自由曲面和侧面圆柱面，前表面平面与后表面自由曲面通过侧面圆柱面相连接，前表面平面垂直于激光光束传播方向，后表面自由曲面用于偏折激光光束；后表面自由曲面包括第一自由曲面、第二自由曲面和圆柱面，第一自由曲面与第二自由曲面通过圆柱面相连接，自由曲面透镜关于光轴坐标轴z旋转对称；激光光束经第一自由曲面偏折，激光光束在目标面上的照明区域为对应双环形均匀照明中的内环，激光光束经第二自由曲面偏折，激光光束在目标面上的照明区域为对应双环形均匀照明中的外环；本发明结构紧凑、简单；整形效果好，能量利用率高。
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公开(公告)号：CN101916045A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010237966.9
申请日：2010-07-27
申请人： 浙江大学 , 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明公开了一种用于双偶极均匀照明的自由曲面透镜。它包括前表面平面、后表面自由曲面和侧面圆柱面，前表面平面与后表面自由曲面通过侧面圆柱面相连接，前表面平面垂直于激光光束传播方向，后表面自由曲面用于偏折激光光束；后表面自由曲面包括第一自由曲面、第二自由曲面、第三自由曲面、第四自由曲面和圆柱面，第一自由曲面、第二自由曲面、第三自由曲面与第四自由曲面通过圆柱面相连接，激光光束经第一自由曲面和第二自由曲面偏折，在目标面上的照明区域对应双偶极均匀照明中的内环，激光光束经第三自由曲面和第四自由曲面偏折，在目标面上的照明区域对应双偶极均匀照明中的外环；本发明结构紧凑、简单；整形效果好，能量利用率高。
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公开(公告)号：CN101916044A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010237953.1
申请日：2010-07-27
申请人： 浙江大学 , 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明公开了一种用于双四极均匀照明的自由曲面透镜。前表面平面与后表面自由曲面通过侧面圆柱面相连接，前表面平面垂直于激光光束传播方向，后表面自由曲面用于偏折激光光束；第一自由曲面、第二自由曲面、第三自由曲面、第四自由曲面、第五自由曲面、第六自由曲面、第七自由曲面和第八自由曲面通过圆柱面相连接，激光光束经第一自由曲面、第二自由曲面、第三自由曲面和第四自由曲面偏折，在目标面上的照明区域对应双四极均匀照明中的内环，激光光束经第五自由曲面、第六自由曲面、第七自由曲面和第八自由曲面偏折，在目标面上的照明区域对应双四极均匀照明中的外环。本发明结构紧凑、简单；整形效果好，能量利用率高。
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公开(公告)号：CN114019653A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111301759.X
申请日：2021-11-04
申请人： 中国科学院光电技术研究所 , 成都同力精密光电仪器制造有限公司
摘要： 本发明涉及一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜，其光轴方向包括孔径光阑、第一透镜、第二透镜、中间像面、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、后焦面。其中孔径光阑位置处放置被测衍射光学元件，第一透镜具有正光焦度，第二透镜具有负光焦度，第一透镜和第二透镜构成成像前组，将孔径光阑的出射光聚焦至中间像面，中间像面用于对所成的光斑进行处理，第三透镜至第六透镜具有正光焦度，其构成成像后组，将中间像面成像至所述傅里叶变换物镜的后焦面处，后焦面为探测器的光敏面，孔径光阑位于所述傅里叶变换物镜的前焦面，后焦面上所有视场点的主光线与光轴平行，形成像方远心光路，后焦面为孔径光阑的傅里叶频谱面，满足正弦条件。
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公开(公告)号：CN103439868A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201310390028.6
申请日：2013-09-01
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明提供一种投影物镜数值孔径的测量装置及方法，包括：物面上放置的小孔阵列，像面上放置的一个可以在xyz向的高精度步进工件台，在工件台上安装波像差测量装置。测量方法包括如下步骤：将小孔阵列放置在物面上；将波前探测器放置在物镜像面位置；设置物镜NA使用照明光束照明掩模；使测试台在Z方向运动，使用波前探测器找到波像差最小的位置；记录下此时的波像差值及坐标位置；改变测试台位置和照明光束，重复前述两步，直到所有视场点的最小WFE值及坐标均被测得；计算投影物镜的数值孔径。使用本发明的一种原位测量投影物镜数值孔径的方法，实现了物镜数值孔径的原位与在线测量，同时测量方法简单、方便。
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公开(公告)号：CN102955371A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210264944.0
申请日：2012-07-27
申请人： 中国科学院光电技术研究所
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统，包括：聚光镜组，位于照明系统的照明光路上，负责将光会聚到指定位置；匀光棒，位于系统所述聚光镜组的光路上，聚光镜组会聚的光经由匀光棒的入射端入射并经由出射端出射；控制装置，用来固定多根不同口径比的匀光棒，装置有平行于照明系统光轴的旋转轴，装置绕此轴旋转调整匀光棒的位置，使指定的匀光棒置于照明系统光路中参与调节照明系统的相干因子；所述控制装置由高精度旋转台驱动；中继透镜位于所述匀光棒的出射光路上；照明场，位于所述中继透镜的出光光路上。本发明能用简单的方法调节系统的相干因子，或者简化变焦透镜的设计复杂度，达到简化结构降低成本的目的。
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