一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜
摘要:
本发明涉及一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜,其光轴方向包括孔径光阑、第一透镜、第二透镜、中间像面、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、后焦面。其中孔径光阑位置处放置被测衍射光学元件,第一透镜具有正光焦度,第二透镜具有负光焦度,第一透镜和第二透镜构成成像前组,将孔径光阑的出射光聚焦至中间像面,中间像面用于对所成的光斑进行处理,第三透镜至第六透镜具有正光焦度,其构成成像后组,将中间像面成像至所述傅里叶变换物镜的后焦面处,后焦面为探测器的光敏面,孔径光阑位于所述傅里叶变换物镜的前焦面,后焦面上所有视场点的主光线与光轴平行,形成像方远心光路,后焦面为孔径光阑的傅里叶频谱面,满足正弦条件。
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