基于压电堆叠的电磁辅助式高速惯性微动台及驱动方法

    公开(公告)号:CN117060777A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202310998321.4

    申请日:2023-08-09

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于压电堆叠的电磁辅助式高速惯性微动台及驱动方法,其包括承载座、电磁驱动组件、压电驱动组件和底座组件;电磁驱动组件包括线圈单元和磁铁单元,压电驱动组件内设置有柔性机构,柔性机构内部具有空腔并安装有压电堆叠;压电堆叠激励时柔性机构能产生变形并带动惯性块产生水平方向的位移。线圈单元质量较轻,本发明将其做为动子以提高整机的加速度及驱动速度。利用压电驱动组件不受电磁干扰的特性,一方面通过电磁力诱导辅助抑制压电惯性驱动器的位移回退运动,另一方面通过电磁与压电两种驱动源复合提升整机综合输出性能,既有效提升其推力负载、提升驱动速度、抑制位移回退、及震荡的同时,又能保证其具备高精度定位。

    蝶型电磁辅助式精密压电惯性执行器及驱动方法

    公开(公告)号:CN117060774A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202310997087.3

    申请日:2023-08-09

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明提供了一种蝶型电磁辅助式精密压电惯性执行器及驱动方法,在将基于音圈电机驱动原理的电磁驱动组件与基于压电惯性驱动原理的压电驱动组件进行复合设计。其中,电磁驱动组件中线圈单元做动子,以提升响应速度和驱动加速度,压电驱动组件选用压电片进行驱动,具备成本低的优势。利用压电驱动器不受电磁干扰的特性,一方面通过电磁力辅助抑制压电惯性驱动器的位移回退运动,另一方面通过电磁与压电两种驱动源复合提升整机综合输出性能,既有效提升其推力负载、提升驱动速度、抑制位移回退、及震荡的同时,又能保证其具备高精度定位。

    重力辅助式压电惯性角位移平顺微动平台及驱动方法

    公开(公告)号:CN117060773A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202310997082.0

    申请日:2023-08-09

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种重力辅助式压电惯性角位移平顺微动平台及驱动方法;本发明将压电堆叠与柔性铰链机构采用接触装配,锯齿波采用100%占空比锯齿波,将重力辅助单元通过软绳与载物台连接,利用重力辅助单元的自重,另外,再通过压电堆叠电压偏置实现摩擦半球头与运动导轨之间锁定力调节,进而使精密调焦平台获得双向平顺驱动并改善其双向一致性。本发明不仅能够实现压电惯性角位移微动平台的平顺驱动,还可以改善其正反方向输出性能的一致性。

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