公开(公告)号：CN117060773A

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202310997082.0

申请日：2023-08-09

Applicant: 浙江大学

Inventor： 韩冬 ,  乔广达 ,  张成鹍 ,  王晓冬 ,  方璐 ,  王东宇 ,  侯博文 ,  周济 ,  龚国芳 ,  杨华勇

IPC: H02N2/04 ,  H02N2/06

Abstract: 本发明公开了一种重力辅助式压电惯性角位移平顺微动平台及驱动方法；本发明将压电堆叠与柔性铰链机构采用接触装配，锯齿波采用100％占空比锯齿波，将重力辅助单元通过软绳与载物台连接，利用重力辅助单元的自重，另外，再通过压电堆叠电压偏置实现摩擦半球头与运动导轨之间锁定力调节，进而使精密调焦平台获得双向平顺驱动并改善其双向一致性。本发明不仅能够实现压电惯性角位移微动平台的平顺驱动，还可以改善其正反方向输出性能的一致性。