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公开(公告)号：CN1044422C
公开(公告)日：1999-07-28
申请号：CN95113361.6
申请日：1995-12-10
Applicant: 浙江大学
Abstract: 一种半导体热电材料的制造方法及设备，其特征是作为半导体热电器件中热电臂用的半导体热电材料为p型和n型半导体晶球，晶球分别以铋、碲、硒和铋、锑、碲为原料，经熔融、熔滴冷凝、热处理制成；其专用设备设有带液滴喷管的石英容器，与石英容器相连接的冷却器，分别与石英容器、冷却器相连接的气体保护装置和真空系统。应用本方案，可明显减小热电臂尺寸，增加热电器件单位制冷量，减少原料损耗，简化操作，提高热电臂的质量和成品率，降低热电器件制造成本。
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公开(公告)号：CN1029034C
公开(公告)日：1995-06-21
申请号：CN92108446.3
申请日：1992-06-02
Applicant: 浙江大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 一种半导体扩散长度测量仪，其特征是光源由恒流脉冲发生器和红外发光二极管构成，用多个干涉滤光片将波长为8500～10500的光谱分离成不同中心波长的单色光，采用Y型光缆将光能耦合到测试样品正面和PIN光电二极管，设有光谱响应度补偿电路，所有测试控制程序，计算公式，校正因子都装入软件包。与现有技术比较，具有光源光强稳定，测试迅速、测量精度高、结构简单、造价低、实现自动测量等优点。
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公开(公告)号：CN1066730A
公开(公告)日：1992-12-02
申请号：CN92108446.3
申请日：1992-06-02
Applicant: 浙江大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 一种半导体扩散长度测量仪，其特征是光源由恒流脉冲发生器和红外发光二极管构成，用多个干涉滤光片将波长为8500～10500的光谱分离成不同中心波长的单色光，采用Y型光缆将光能耦合到测试样品正面和PIN光电二极管，设有光谱响应度补偿电路，所有测试控制程序，计算公式，校正因子都装入软件包。与现有技术比较，具有光源光强稳定、测试迅速、测量精度高、结构简单、造价低、实现自动测量等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1064024C
公开(公告)日：2001-04-04
申请号：CN97121645.2
申请日：1997-11-20
Applicant: 浙江大学
IPC: C01B21/068
Abstract: 一种制造高纯度超细氮化硅的方法及设备，其特征是硅烷和氨气的气相化学反应是在立式双温区流态反应器3中进行，该反应器流态床底部设有不锈钢制造的分配板31，载体填料32是粒度为0.1～0.5mm的硅晶体，床层外部设有主加热器33，反应器的上部空间为反应区34，反应区外部设有副加热器35。同现有技术比较，本发明的优点是设备投资少，能耗低，收率高，氮化硅颗粒细而均匀，表面光滑，内部结构无气孔，无团聚现象，适宜工业化生产。
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公开(公告)号：CN1218002A
公开(公告)日：1999-06-02
申请号：CN97121645.2
申请日：1997-11-20
Applicant: 浙江大学
IPC: C01B21/068
Abstract: 一种制造高纯度超细氮化硅的方法及设备,其特征是硅烷和氨气的气相化学反应是在立式双温区流态反应器3中进行,该反应器流态床底部设有不锈钢制造的分配板31,载体填料32是粒度为0.1～0.5mm的硅晶体,床层外部设有主加热器33,反应器的上部空间为反应区34,反应区外部设有副加热器35。同现有技术比较,本发明的优点是设备投资少,能耗低,收率高,氮化硅颗粒细而均匀,表面光滑,内部结构无气孔,无团聚现象,适宜工业化生产。
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公开(公告)号：CN1148735A
公开(公告)日：1997-04-30
申请号：CN95113361.6
申请日：1995-12-10
Applicant: 浙江大学
Abstract: 一种半导体热电材料的制造方法及设备，其特征是作为半导体热电器件中热电臂用的半导体热电材料为p型和n型半导体晶球，晶球分别以铋、碲、硒和铋、锑、碲为原料，经熔融、熔滴冷凝、热处理制成；其专用设备设有带液滴喷管的石英容器，与石英容器相连接的冷却器，分别与石英容器、冷却器相连接的气体保护装置和真空系统。应用本方案，可明显减小热电臂尺寸，增加热电器件单位制冷量，减少原料损耗，简化操作，提高热电臂的质量和成品率，降低热电器件制造成本。
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公开(公告)号：CN1104375A
公开(公告)日：1995-06-28
申请号：CN94112273.5
申请日：1994-08-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 一种半导体热电器件及其材料的制造方法及设备，其特征是热电臂采用P型和N型半导体晶球；晶球分别以铋、碲、硒和铋、锑、碲为原料，经熔融、熔滴冷凝、热处理制成；其专用设备设有带液滴喷管的石英容器，与石英容器相连接的冷却器，分别与石英容器、冷却器相连接的气体保护装置和真空系统，应用本方案，可明显减小热电臂尺寸，增加热电器件单位制冷量，减少原料损耗，简化操作，提高热电臂的质量和成品率，降低热电器件制造成本。
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