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公开(公告)号：CN118010318B
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410214598.8
申请日：2024-02-27
Applicant: 浙江大学 , 杭州利珀科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法，包括泵浦模块、探测模块和调平对焦模块；泵浦激光光源出射的连续激光通过斩波器调制后经过透镜镜组聚焦照射到样品表面；探测激光光源出射的连续光源经过透镜镜组照射到泵浦光聚焦点同一区域内且完全覆盖泵浦聚焦光斑，经过光学元件反射并通过滤光片及针孔后由光电探测器接收；接收到的信号通过锁相放大器提取后发送给计算机进行处理；光谱共焦位移传感器返回实时位置，通过算法搭配俯仰偏摆位移台自动调平待测光学元件，三轴位移台调整扫描对焦位置，扫描后最终生成整个光学元件的吸收率分布图像。利用本发明，可以实现对大口径光学元件光热特性的有效准确检测。
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公开(公告)号：CN118010318A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410214598.8
申请日：2024-02-27
Applicant: 浙江大学 , 杭州利珀科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法，包括泵浦模块、探测模块和调平对焦模块；泵浦激光光源出射的连续激光通过斩波器调制后经过透镜镜组聚焦照射到样品表面；探测激光光源出射的连续光源经过透镜镜组照射到泵浦光聚焦点同一区域内且完全覆盖泵浦聚焦光斑，经过光学元件反射并通过滤光片及针孔后由光电探测器接收；接收到的信号通过锁相放大器提取后发送给计算机进行处理；光谱共焦位移传感器返回实时位置，通过算法搭配俯仰偏摆位移台自动调平待测光学元件，三轴位移台调整扫描对焦位置，扫描后最终生成整个光学元件的吸收率分布图像。利用本发明，可以实现对大口径光学元件光热特性的有效准确检测。
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公开(公告)号：CN116879166A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310761160.7
申请日：2023-06-27
Applicant: 浙江大学 , 杭州利珀科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于机械臂的大口径平面光学元件表面缺陷扫描方法，采用自动定心和定域装置，自动定心和定域装置包括样品台、机械臂、安装在机械臂上的带有光谱共焦传感器和相机的探头、与光谱共焦传感器电连接的数据采集单元、与数据采集单元电连接的数据分析处理单元，以及用于接收数据分析处理单元的反馈并控制机械臂运动的控制单元；调平之后，通过采集三个边缘点的坐标自动进行定心和定域，然后根据光学元件的参数进行扫描。本发明简单易行，无需对传感器进行定标，不需要针对特定样品定制高精度导轨和样品自旋台，降低机械设计与装配难度，实现光学元件的非接触式、快速、自动定心和定域扫描，适合流水化生产和检测大口径平面光学元件。
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公开(公告)号：CN117761013B
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202311717588.8
申请日：2023-12-14
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种光学元件表面质量角分辨检测装置及方法，其中，检测装置包括光源模块、高精度经纬扫描平台、安装在经纬扫描平台上的散射信号探测模块、放置待检测光学元件的样品台以及控制样品台的多维运动平台；所述的高精度经纬扫描平台包含水平布置的圆弧齿轨和竖直布置的半圆弧齿轨，所述的半圆弧齿轨通过第一滑块滑动固定在圆弧齿轨上，所述的散射信号探测模块通过第二滑块滑动固定在半圆弧齿轨上；所述的样品台布置在圆弧齿轨的圆心位置。利用本发明，可以实现对光学元件表面散射信号全范围覆盖稳定检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118143881B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410357118.3
申请日：2024-03-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于不同尺寸大口径光学元件检测的立式夹持装置及方法，包括抽拉式底座以及可拆卸固定在抽拉式底座上的样品装夹架；样品装夹架包括对位板以及平行布置在对位板上的两条线轨；每条线轨在靠近两端位置分别设有一个滑块，同一端的两个滑块上固定有一块横置面包板，每块横置面包板上固定有一个垂直支架；两个垂直支架之间通过上丝杆和下丝杆连接，通过同步转动两根丝杆的一端使两个垂直支架相互靠近或远离；对位板在两个垂直支架之间的位置固定有夹持垫块，两个垂直支架的相对面设有竖向凹槽。利用本发明，能够对不同尺寸的大口径光学样品实现很好的夹持作用，并且调节方便，稳定性高。
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公开(公告)号：CN118143881A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410357118.3
申请日：2024-03-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于不同尺寸大口径光学元件检测的立式夹持装置及方法，包括抽拉式底座以及可拆卸固定在抽拉式底座上的样品装夹架；样品装夹架包括对位板以及平行布置在对位板上的两条线轨；每条线轨在靠近两端位置分别设有一个滑块，同一端的两个滑块上固定有一块横置面包板，每块横置面包板上固定有一个垂直支架；两个垂直支架之间通过上丝杆和下丝杆连接，通过同步转动两根丝杆的一端使两个垂直支架相互靠近或远离；对位板在两个垂直支架之间的位置固定有夹持垫块，两个垂直支架的相对面设有竖向凹槽。利用本发明，能够对不同尺寸的大口径光学样品实现很好的夹持作用，并且调节方便，稳定性高。
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公开(公告)号：CN117723558A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311544747.9
申请日：2023-11-20
Applicant: 浙江大学 , 杭州利珀科技有限公司
IPC: G01N21/95 , G01N21/958 , G01N21/01 , G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种用于大口径光学元件检测的新型扫描方法，选取直线电机驱动导轨以及全局曝光探测器，构建扫描装置；根据硬件各项参数，经过计算确定合适的导轨移动速度和探测器的曝光时间，采图需满足图像拼接要求的同时无拖影；确定选取的曝光时间与导轨速度是否满足需求；对待测光学元件，从扫描起始点到扫描终点采用蛇形扫描路径，扫描过程中，直线电机控制导轨以选取的导轨速度进行匀速运动；实时返回导轨位置并与理论值进行对比，达到理论值时发送信号到数据采集单元利用选取的曝光时间进行采图，获得大口径光学元件的子孔径图像。利用本发明，既能满足图像拼接需求，还能大幅缩短扫描时间。
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公开(公告)号：CN117761013A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311717588.8
申请日：2023-12-14
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种光学元件表面质量角分辨检测装置及方法，其中，检测装置包括光源模块、高精度经纬扫描平台、安装在经纬扫描平台上的散射信号探测模块、放置待检测光学元件的样品台以及控制样品台的多维运动平台；所述的高精度经纬扫描平台包含水平布置的圆弧齿轨和竖直布置的半圆弧齿轨，所述的半圆弧齿轨通过第一滑块滑动固定在圆弧齿轨上，所述的散射信号探测模块通过第二滑块滑动固定在半圆弧齿轨上；所述的样品台布置在圆弧齿轨的圆心位置。利用本发明，可以实现对光学元件表面散射信号全范围覆盖稳定检测。
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公开(公告)号：CN116878378A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310761296.8
申请日：2023-06-27
Applicant: 浙江大学 , 杭州利珀科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种机械臂操纵下的大口径球面光学元件定心和定域方法，采用自动定心和定域装置，包括样品台、机械臂、安装在机械臂上的带有光谱共焦传感器和相机的探头、与光谱共焦传感器电连接的数据采集单元、与数据采集单元电连接的数据分析处理单元，以及用于接收数据分析处理单元的反馈并控制机械臂运动的控制单元；对于大口径球面光学元件来说，通过采集球面上某一同心圆的三个点来自动定心，然后通过采集边缘点来自动定域。本发明简单易行，无需对传感器进行定标，仅需要通过工业机械臂承载光学精密探头进行三维移动，降低机械设计与装配难度，实现光学元件的非接触式、快速、自动定心和定域，适合流水化生产和检测大口径光学元件。
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