-
公开(公告)号:CN118778439A
公开(公告)日:2024-10-15
申请号:CN202410745347.2
申请日:2024-06-11
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明公开了一种基于状态空间转换的力平衡式加速度计反馈控制方法,属于加速度计控制领域。包括:建立微机械加速度计系统的动力学方程;将动力学方程转换为初始状态空间方程;将测量误差作为新的状态变量扩充到原状态向量中,将测量误差的一阶导作为输入项,得到重构状态空间方程;基于含测量误差项的性能指标、初始/重构状态空间方程求解反馈控制信号,将反馈控制信号施加在微机械加速度计的敏感元件上以平衡外部惯性力,完成反馈控制。本发明通过将状态空间方程中的测量误差作为新的状态变量扩充进原有的状态向量里,以变换后的状态向量为基础重构状态空间方程,实现微机械加速度计中敏感质量块的位移最小化与加速度信号的高精度测量。
-
公开(公告)号:CN118757526A
公开(公告)日:2024-10-11
申请号:CN202410745349.1
申请日:2024-06-11
IPC: F16F3/00
Abstract: 本发明公开了一种基于准零刚度胞元与特定安装底板组合的超材料弹簧基座,属于超材料领域。超材料弹簧基座为多层叠加结构,每一层结构中包含准零刚度胞元阵列、安装固定层和/或形变约束层;当准零刚度胞元的受压部受到竖向压力时,在没有形变约束层的情况下,准零刚度胞元的一对侧向支柱发生形变,屈曲梁不发生屈曲;当有形变约束层的情况下,准零刚度胞元的一对侧向支柱不发生形变,屈曲梁发生屈曲。准零刚度胞元使机械超材料具备非单调变化的力学行为,而可拆卸式的形变约束层能够使准零刚度胞元在压缩时具备两种不同的变形方式,通过不同的多层结构堆叠式设计可实现机械超材料的线性与非线性力学特性的转换。
-
公开(公告)号:CN118169620B
公开(公告)日:2024-07-26
申请号:CN202410602725.1
申请日:2024-05-15
Applicant: 浙江大学
IPC: G01R33/028
Abstract: 本发明公开了一种可调灵敏度的MEMS多级同步磁强计,属于MEMS技术领域。包括磁场感受模块,用于其用于将待测磁场强度转化为洛伦兹力大小,具备可调灵敏度的特点;多级杠杆模块,用于将输入的洛伦兹力放大并输出;菱形梁模块,利用输入的力改变菱形梁的谐振频率;双端固支梁模块,与菱形梁模块形成1:1静电同步,通过菱形梁的频率偏移来改变自身的频率;高频谐振模块,与双端固支梁形成1:3同步,通过高阶同步将频率偏移放大3倍并输出,进而得到待测外部磁场。本发明具备可调灵敏度的特点,并且提高了磁强计的灵敏度和稳定性。
-
公开(公告)号:CN118169620A
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202410602725.1
申请日:2024-05-15
Applicant: 浙江大学
IPC: G01R33/028
Abstract: 本发明公开了一种可调灵敏度的MEMS多级同步磁强计,属于MEMS技术领域。包括磁场感受模块,用于其用于将待测磁场强度转化为洛伦兹力大小,具备可调灵敏度的特点;多级杠杆模块,用于将输入的洛伦兹力放大并输出;菱形梁模块,利用输入的力改变菱形梁的谐振频率;双端固支梁模块,与菱形梁模块形成1:1静电同步,通过菱形梁的频率偏移来改变自身的频率;高频谐振模块,与双端固支梁形成1:3同步,通过高阶同步将频率偏移放大3倍并输出,进而得到待测外部磁场。本发明具备可调灵敏度的特点,并且提高了磁强计的灵敏度和稳定性。
-
公开(公告)号:CN116653529A
公开(公告)日:2023-08-29
申请号:CN202310681086.8
申请日:2023-06-09
Applicant: 浙江大学
IPC: B60G17/019 , G01P15/08 , G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种基于悬架并联式设计的准零刚度MEMS加速度计,属于准零刚度加速度计技术领域。包括敏感质量块、驱动梳齿模块、悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块、检测梳齿模块;敏感质量块的上方和下方分别设有一个悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块,位于敏感质量块上侧和下侧中部的凸起结构与该侧的悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块连接,驱动梳齿模块位于敏感质量块的下侧左右两端,检测梳齿模块位于敏感质量块的左右两侧;悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块包括悬架组件、以及由双稳梁和直梁串联得到的梁结构。本发明将单个双稳梁与单个直梁串联,形成局部准零刚度区间,在器件工作平面内设计多重该结构并联机制,从而达到多区间的准零刚度。
-
-
-
-