公开(公告)号：CN112157055A

公开(公告)日：2021-01-01

申请号：CN202010843753.4

申请日：2020-08-20

申请人： 洛阳中硅高科技有限公司 ,  中国恩菲工程技术有限公司

发明人： 蔡爱梅 ,  宁晓晓 ,  刘应全 ,  曲宏波 ,  杜俊平 ,  严大洲 ,  万烨 ,  孙强

IPC分类号： B08B3/08 ,  B08B3/10 ,  B08B3/12 ,  F26B23/10

摘要： 本申请提出一种清洗处理方法、酸温度控制设备和清洗处理设备，其中，方法包括：对硅晶对象进行水洗，对经过水洗的硅晶对象，采用经过温控的酸液进行酸洗，并在酸洗过程中，对硅晶对象进行抖动，对经过酸洗的硅晶对象进行漂洗，对经过漂洗的硅晶对象顺序进行超声处理和干燥处理，本申请在执行酸洗的过程中，通过温控使得酸液保持在设定温度，提高了酸洗的效率，而对硅晶对象的抖动使得硅晶对象和酸液可以充分接触，提高了酸洗的效果，同时，结合水洗和超声波洗，有效去除了硅晶对象表面的金属残留，以及其它杂质，提高了清洗处理的效果。

公开(公告)号：CN111151504A

公开(公告)日：2020-05-15

申请号：CN202010062867.5

申请日：2020-01-19

申请人： 洛阳中硅高科技有限公司 ,  中国恩菲工程技术有限公司

发明人： 陈辉 ,  曲宏波 ,  刘应全 ,  张潼 ,  蔡爱梅 ,  张征 ,  张邦洁

IPC分类号： B08B3/08 ,  B08B13/00 ,  C30B33/10 ,  C30B29/06

摘要： 本发明公开了多晶硅清洗机和清洗多晶硅的方法，其中，多晶硅清洗机包括：本体和惰性气体喷吹装置，本体内设有机械手和顺序布置的酸腐蚀槽、第一快速冲洗槽、第二快速冲洗槽和纯水过渡槽；惰性气体喷吹装置包括输气管道和多个风刀喷口，输气管道伸入本体内并延伸至酸腐蚀槽和第一快速冲洗槽上方；多个风刀喷口设在输气管道上并沿输气管道的走向间隔分布，且多个风刀喷口分别独立地朝向酸腐蚀槽和第一快速冲洗槽区域。该多晶硅清洗机结构简单、安装方便、投资小、见效快，能有效解决多晶硅物料在酸洗过程中酸与空气接触而造成的多晶硅物料二次污染的问题，保证清洗质量和清洗效果。

公开(公告)号：CN211914788U

公开(公告)日：2020-11-13

申请号：CN202020127798.7

申请日：2020-01-19

申请人： 洛阳中硅高科技有限公司 ,  中国恩菲工程技术有限公司

发明人： 陈辉 ,  曲宏波 ,  刘应全 ,  张潼 ,  蔡爱梅 ,  张征 ,  张邦洁

IPC分类号： B08B3/08 ,  B08B13/00 ,  C30B33/10 ,  C30B29/06

摘要： 本实用新型公开了多晶硅清洗机。该多晶硅清洗机包括：本体和惰性气体喷吹装置，本体内设有机械手和顺序布置的酸腐蚀槽、第一快速冲洗槽、第二快速冲洗槽和纯水过渡槽；惰性气体喷吹装置包括输气管道和多个风刀喷口，输气管道伸入本体内并延伸至酸腐蚀槽和第一快速冲洗槽上方；多个风刀喷口设在输气管道上并沿输气管道的走向间隔分布，且多个风刀喷口分别独立地朝向酸腐蚀槽和第一快速冲洗槽区域。该多晶硅清洗机结构简单、安装方便、投资小、见效快，能有效解决多晶硅物料在酸洗过程中酸与空气接触而造成的多晶硅物料二次污染的问题，保证清洗质量和清洗效果。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利