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公开(公告)号：CN104950429B
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201510309903.2
申请日：2011-12-22
申请人： 泽伊塔仪器科技(上海)有限公司
摘要： 本申请公开了一种包括用于提供多次成像和测量能力的可插入组件的3D显微镜。一种三维(3D)显微镜包括有助于多次成像和测量能力的多个可插入的组件。这些能力包括Nomarski成像、偏振光成像、定量差分干涉对比度(q‑DIC)成像、机动偏振光成像、相移干涉测量法(PSI)以及垂直扫描干涉测量法(VSI)。
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公开(公告)号：CN103858426B
公开(公告)日：2017-07-25
申请号：CN201180036105.7
申请日：2011-07-14
申请人： 泽伊塔仪器科技(上海)有限公司
CPC分类号： G02B21/006 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/0168 , G02B21/0016 , G02B21/0028 , G02B21/0032 , G02B21/367 , G06T7/60 , G06T2207/10056 , G06T2207/10152 , G06T2207/20068 , G06T2207/30148
摘要： 用于图形化基板测量的三维（3D）显微镜可包括物镜、反射照明器、透射照明器、调焦设备、光学传感器、以及处理器。调焦设备可分多个Z步进对物镜自动调焦。光学传感器能够在这些Z步进中的每一步进采集图像。处理器可控制反射照明器、透射照明器、调焦设备、以及光学传感器。处理器可被配置成在多个Z步进采集第一和第二图像，该第一图像具有使用反射照明器的图案而该第二图像不具有使用反射照明器和透射照明器之一的图案。
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公开(公告)号：CN107229116A
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201710590606.9
申请日：2011-07-14
申请人： 泽伊塔仪器科技(上海)有限公司
IPC分类号： G02B21/36 , G01N21/956
CPC分类号： G02B21/006 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/0168 , G02B21/0016 , G02B21/0028 , G02B21/0032 , G02B21/367 , G06T7/60 , G06T2207/10056 , G06T2207/10152 , G06T2207/20068 , G06T2207/30148
摘要： 测量图形化基板的3D显微镜和方法。用于图形化基板测量的三维(3D)显微镜可包括物镜、反射照明器、透射照明器、调焦设备、光学传感器、以及处理器。调焦设备可分多个Z步进对物镜自动调焦。光学传感器能够在这些Z步进中的每一步进采集图像。处理器可控制反射照明器、透射照明器、调焦设备、以及光学传感器。处理器可被配置成在多个Z步进采集第一和第二图像，该第一图像具有使用反射照明器的图案而该第二图像不具有使用反射照明器和透射照明器之一的图案。
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公开(公告)号：CN103282818B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201180064272.2
申请日：2011-12-22
申请人： 泽伊塔仪器科技(上海)有限公司
IPC分类号： G02B21/18
CPC分类号： G02B21/06 , G02B21/0092 , G02B21/367
摘要： 一种三维（3D）显微镜包括有助于多次成像和测量能力的多个可插入的组件。这些能力包括Nomarski成像、偏振光成像、定量差分干涉对比度（q?DIC）成像、机动偏振光成像、相移干涉测量法（PSI）以及垂直扫描干涉测量法（VSI）。
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公开(公告)号：CN104950429A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510309903.2
申请日：2011-12-22
申请人： 泽伊塔仪器科技(上海)有限公司
CPC分类号： G02B21/06 , G02B21/0092 , G02B21/367 , G02B21/18 , G02B21/361
摘要： 本申请公开了一种包括用于提供多次成像和测量能力的可插入组件的3D显微镜。一种三维(3D)显微镜包括有助于多次成像和测量能力的多个可插入的组件。这些能力包括Nomarski成像、偏振光成像、定量差分干涉对比度(q-DIC)成像、机动偏振光成像、相移干涉测量法(PSI)以及垂直扫描干涉测量法(VSI)。
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公开(公告)号：CN108776381A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201810762225.9
申请日：2011-12-22
申请人： 泽伊塔仪器科技(上海)有限公司
CPC分类号： G02B21/06 , G02B21/0092 , G02B21/367
摘要： 本申请公开了一种包括用于提供多次成像和测量能力的可插入组件的3D显微镜。一种三维(3D)显微镜包括有助于多次成像和测量能力的多个可插入的组件。这些能力包括Nomarski成像、偏振光成像、定量差分干涉对比度(q-DIC)成像、机动偏振光成像、相移干涉测量法(PSI)以及垂直扫描干涉测量法(VSI)。
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公开(公告)号：CN103858426A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201180036105.7
申请日：2011-07-14
申请人： 泽伊塔仪器科技(上海)有限公司
CPC分类号： G02B21/006 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/0168 , G02B21/0016 , G02B21/0028 , G02B21/0032 , G02B21/367 , G06T7/60 , G06T2207/10056 , G06T2207/10152 , G06T2207/20068 , G06T2207/30148
摘要： 用于图形化基板测量的三维（3D）显微镜可包括物镜、反射照明器、透射照明器、调焦设备、光学传感器、以及处理器。调焦设备可分多个Z步进对物镜自动调焦。光学传感器能够在这些Z步进中的每一步进采集图像。处理器可控制反射照明器、透射照明器、调焦设备、以及光学传感器。处理器可被配置成在多个Z步进采集第一和第二图像，该第一图像具有使用反射照明器的图案而该第二图像不具有使用反射照明器和透射照明器之一的图案。
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公开(公告)号：CN105044894B
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201510311788.2
申请日：2011-12-22
申请人： 泽伊塔仪器科技(上海)有限公司
CPC分类号： G02B21/06 , G02B21/0092 , G02B21/367
摘要： 本申请公开了一种包括用于提供多次成像和测量能力的可插入组件的3D显微镜。一种三维(3D)显微镜包括有助于多次成像和测量能力的多个可插入的组件。这些能力包括Nomarski成像、偏振光成像、定量差分干涉对比度(q‑DIC)成像、机动偏振光成像、相移干涉测量法(PSI)以及垂直扫描干涉测量法(VSI)。
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公开(公告)号：CN105044894A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510311788.2
申请日：2011-12-22
申请人： 泽伊塔仪器科技(上海)有限公司
CPC分类号： G02B21/06 , G02B21/0092 , G02B21/367
摘要： 本申请公开了一种包括用于提供多次成像和测量能力的可插入组件的3D显微镜。一种三维(3D)显微镜包括有助于多次成像和测量能力的多个可插入的组件。这些能力包括Nomarski成像、偏振光成像、定量差分干涉对比度(q-DIC)成像、机动偏振光成像、相移干涉测量法(PSI)以及垂直扫描干涉测量法(VSI)。
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