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公开(公告)号:CN102527422A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110435088.6
申请日:2011-12-22
Applicant: 河南大学
Abstract: 本发明属于低维纳米材料技术领域,特别涉及一种氮掺杂氧化钛基纳米材料的制备方法。以钛酸钠纳米管为前驱体,以NH4CL水溶液为氮源,在空气气氛下煅烧获得氮掺杂氧化钛基纳米材料。本发明氮掺杂氧化钛基纳米材料的制备方法,操作简单易行,参数容易控制,N掺杂量可控,含量较高,最高可达7%以上;产品的稳定性较好,放置1年以上性能未见有变化。
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公开(公告)号:CN115101398A
公开(公告)日:2022-09-23
申请号:CN202210704210.3
申请日:2022-06-21
Applicant: 河南大学
IPC: H01J37/302 , H01J37/317 , B82Y40/00
Abstract: 本发明涉及微纳米技术领域,特别是涉及一种基于空间电势限域的3D微纳结构直写系统,包括:模型构建模块,基于待构筑微纳结构的形态和特点,构建3D结构模型,并生成数字控制信号及直写过程中电子束的驻留时间和扫描速率;数模转换模块,对数字控制信号进行数模转换和放大,得到模拟控制信号;工作台模块,用于承载待写材料,并调整待写材料的角度;电子束模块,用于发射电子束并聚焦在待写材料的上方,并控制电子束的焦点按照设定路径进行扫描,对待写材料进行直写,得到待构筑微纳结构;束闸模块,进行打开和关闭,以控制电子束是否聚焦在待写材料的上方。本发明能够灵活便捷、低成本地实现微纳结构及纳米器件的直写构筑,材料普适性宽。
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