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公开(公告)号：CN115101398A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210704210.3
申请日：2022-06-21
Applicant: 河南大学
IPC: H01J37/302 , H01J37/317 , B82Y40/00
Abstract: 本发明涉及微纳米技术领域，特别是涉及一种基于空间电势限域的3D微纳结构直写系统，包括：模型构建模块，基于待构筑微纳结构的形态和特点，构建3D结构模型，并生成数字控制信号及直写过程中电子束的驻留时间和扫描速率；数模转换模块，对数字控制信号进行数模转换和放大，得到模拟控制信号；工作台模块，用于承载待写材料，并调整待写材料的角度；电子束模块，用于发射电子束并聚焦在待写材料的上方，并控制电子束的焦点按照设定路径进行扫描，对待写材料进行直写，得到待构筑微纳结构；束闸模块，进行打开和关闭，以控制电子束是否聚焦在待写材料的上方。本发明能够灵活便捷、低成本地实现微纳结构及纳米器件的直写构筑，材料普适性宽。
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公开(公告)号：CN113184801B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202110466336.7
申请日：2021-04-28
Applicant: 河南大学
IPC: B81C1/00 , H01L21/329 , B82Y40/00
Abstract: 本发明涉及一种基于冲量差颗粒脱附的微纳结构与器件直写方法，包括：在衬底上固定材料源；将所述衬底和材料源放入电子束设备；对所述电子束设备进行抽真空处理；控制电子束斜入射到所述材料源表面；控制所述电子束以光栅式振荡扫描场做空间扫描，并按照预定的结构形状逐步移动，直至得到完整的微纳结构。本发明能够提高微纳结构构筑效率。
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公开(公告)号：CN108267225A
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201810059159.9
申请日：2018-01-22
Applicant: 河南大学
Abstract: 本发明提供一种基于摩擦发电机空气放电的新型紫外光检测器及其检测方法，所述紫外检测器仍然基于半导体材料表面氧吸附脱附机制，其包括电离空气组件和紫外检测组件，所述电离空气组件包括摩擦纳米发电机、整流电路和放电探针，所述摩擦纳米发电机包括两相对运动部，两相对运动部能够在分离状态和接触状态之间往复切换，从而形成交流脉冲信号，且摩擦纳米发电机的输出端与整流电路的输入端电性连接以传输该交流脉冲信号，整流电路的负极输出端连接至所述放电探针，整流电路的正极输出端接地；本发明借助于摩擦纳米发电机提供高压输出，直接电离空气产生O2-，从根本上摆脱了半导体材料层表面氧吸附使对自由电子浓度的依赖。
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公开(公告)号：CN113184801A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110466336.7
申请日：2021-04-28
Applicant: 河南大学
IPC: B81C1/00 , H01L21/329 , B82Y40/00
Abstract: 本发明涉及一种基于冲量差颗粒脱附的微纳结构与器件直写方法，包括：在衬底上固定材料源；将所述衬底和材料源放入电子束设备；对所述电子束设备进行抽真空处理；控制电子束斜入射到所述材料源表面；控制所述电子束以光栅式振荡扫描场做空间扫描，并按照预定的结构形状逐步移动，直至得到完整的微纳结构。本发明能够提高微纳结构构筑效率。
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公开(公告)号：CN108267225B
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201810059159.9
申请日：2018-01-22
Applicant: 河南大学
Abstract: 本发明提供一种基于摩擦发电机空气放电的新型紫外光检测器及其检测方法，所述紫外检测器仍然基于半导体材料表面氧吸附脱附机制，其包括电离空气组件和紫外检测组件，所述电离空气组件包括摩擦纳米发电机、整流电路和放电探针，所述摩擦纳米发电机包括两相对运动部，两相对运动部能够在分离状态和接触状态之间往复切换，从而形成交流脉冲信号，且摩擦纳米发电机的输出端与整流电路的输入端电性连接以传输该交流脉冲信号，整流电路的负极输出端连接至所述放电探针，整流电路的正极输出端接地；本发明借助于摩擦纳米发电机提供高压输出，直接电离空气产生O2‑，从根本上摆脱了半导体材料层表面氧吸附使对自由电子浓度的依赖。
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