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发明公开
一种绿色环保型钛金属抛光液无效

公开(公告)号：CN114106704A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202111540483.0

申请日：2021-12-16

Applicant: 河北工业大学

Inventor： 谢顺帆 , 赵群 , 何彦刚 , 杨露瑶 , 梅旭鲲 , 孟妮 , 张祥龙 , 李相辉

IPC: C09G1/02 , C23F3/04 , C23F11/14

Abstract: 本发明为一种绿色环保型钛金属抛光液，该钛抛光液包括磨料、氧化剂、碱性氧化物、表面活性剂、络合剂和缓蚀剂，所述缓蚀剂为烟酸，所述表面活性剂为不含钠离子的有机表面活性剂。本发明配方中并未引入新的外来的钠离子，可以应用与半导体领域抛光中，减少了金属离子数。通过引入少量的烟酸就可以得到良好的钛表面，烟酸的浓度在0.05wt％的时候即可得到优良的表面质量，同时具有较好的去除速率。

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