一种具有弧形增透作用的光电探测器结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN110165012A

    公开(公告)日:2019-08-23

    申请号:CN201910574152.5

    申请日:2019-06-28

    Abstract: 本发明为一种具有弧形增透作用的光电探测器结构及其制备方法。该结构沿着外延生长方向依次包括衬底、P型重掺杂材料层、N型轻掺杂材料层、N型过渡材料层、N型轻掺杂材料层、N型重掺杂材料层和N型欧姆电极;P型欧姆电极位于N型轻掺杂材料层外侧的P型重掺杂材料层上;其中,N型欧姆电极为圆环状,位于N型重掺杂材料层的外缘,其中间显露的N型重掺杂材料层为光敏区,厚度为0.1~1μm,所述的光敏区的上表面含有弧形结构,所述的弧形结构为弧形、叠弧形或凹凸形。本发明制备方法简单,可操作性强,成本低,而且在进一步增强透光率的同时,也会使入射到器件内部的光分布的更加均匀,降低器件自热效应,改善量子效率。

    一种具有弧形增透作用的光电探测器结构

    公开(公告)号:CN209880636U

    公开(公告)日:2019-12-31

    申请号:CN201920993742.7

    申请日:2019-06-28

    Abstract: 本实用新型为一种具有弧形增透作用的光电探测器结构。该结构沿着外延生长方向依次包括衬底、P型重掺杂材料层、N型轻掺杂材料层、N型过渡材料层、N型轻掺杂材料层、N型重掺杂材料层和N型欧姆电极;P型欧姆电极位于N型轻掺杂材料层外侧的P型重掺杂材料层上;其中,N型欧姆电极为圆环状,位于N型重掺杂材料层的外缘,其中间显露的N型重掺杂材料层为光敏区,厚度为0.1~1μm,所述的光敏区的上表面含有弧形结构,所述的弧形结构为弧形、叠弧形或凹凸形。本实用新型制备方法简单,可操作性强,成本低,而且在进一步增强透光率的同时,降低器件自热效应,改善量子效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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