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公开(公告)号：CN117654990A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202310474775.1
申请日：2023-04-28
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
IPC分类号： B08B3/12 , F26B21/14 , C23G5/032 , C23F1/20 , C23G1/12 , B08B3/08 , B08B3/10 , B08B3/04 , B08B3/02
摘要： 本发明涉及精密清洗技术领域，具体涉及一种3系铝合金零件的精密清洗方法，铝合金零件经过丙酮擦拭、水洗、酸洗、水洗、氮气吹干、转移至百级无尘室、热喷水洗、超声波清洗、氮气吹干和烘烤，得到洁净的零件。本发明方法减少酸蚀的时间和超声波震动的时间，避免由于过渡酸蚀引起铝合金零件表面晶格松动及因为材料中第二相受超声波震荡的影响，避免在零件表面形成微小坑点状缺陷。一方面降低异常率，使工件可以顺利流转，缩短交付周期；另一方面降低甚至消除量产批量异常或报废的风险，使产品良率达到99.9%以上。
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公开(公告)号：CN117020572A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310788502.4
申请日：2023-06-30
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
IPC分类号： B23P15/00
摘要： 本发明公开一种CVD设备焊接式多层匀气盘制作方法，方法步骤包括：单件机加；单件检验；超声清洗；真空烘干；焊接一；焊后机加；焊接二；热处理；遮蔽；研磨；去遮蔽；校形；车加工；表面抛光；超声波脱脂清洗；表面吹干；真空干燥。该方法能满足焊接类多层匀气盘平面度≤0.02mm，平行度≤0.02mm，位置度≤0.1mm。焊接和热处理属于热加工，零件会产生变形，且变形量较大，无法满足平面度≤0.02mm，平行度≤0.02mm、位置度≤0.1mm的要求，且热处理后材料较软，车、铣加工产生的铝屑会堵住匀气盘孔，使匀气盘失去功能。该工艺适用于焊接式双层、多层的一阶孔、二阶孔、三阶孔、多阶孔匀气盘。
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公开(公告)号：CN116791060A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310756719.7
申请日：2023-06-26
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种PECVD设备结构中的陶瓷环，涉及PECVD薄膜技术领域，包括气柜，所述气柜的下侧安装有顶板，顶板的下侧安装有匀气盘，匀气盘的下侧安装有泵环，泵环上设置有滑块，泵环的下侧设置有陶瓷环，陶瓷环的下侧安装有加热盘，加热盘的内部设置有内腔和外腔；气柜配合匀气盘来控制气体分散性和偏移，起到提高薄膜均匀性作用，使到达晶圆表面的垂直气体速度趋于均匀，且陶瓷环与排气环上均设置有排气孔，排气孔起到了排气的作用，且可以防止气体过度逃逸，上述结构通过对陶瓷环排气孔的位置和孔的密封的分布的调整，解决了气体流速不均匀，速度中心整体偏移，进而导致镀膜速率不同，厚度不均的现象。
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公开(公告)号：CN116641017A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310301045.1
申请日：2023-03-27
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
摘要： 本发明涉及表面处理技术领域，具体涉及一种真空镀膜的基体前处理工艺，先采用抛光方式平整铝合金基体表面。再依次采用脱脂清洗、HF酸洗、除灰剂清洗和超纯水清洗，确保基体表面无化学溶剂残留。最后吹干包装。本发明针对6系铝合金真空镀薄膜工艺，采用抛光方式平整铝合金基体表面，采用化学清洗方式去除铝合金基体表面的氧化物及部分金属杂质，得到近乎纯铝的高洁净基体表面，满足薄膜沉积工艺对基体的要求。
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公开(公告)号：CN115382843A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202211069822.6
申请日：2022-09-02
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
摘要： 本发明公开一种半导体设备腔体内铝基多层带孔零部件的超洁净清洗工艺，其步骤包括：表面打磨；超声脱脂清洗；纯水清洗；酸蚀；纯水清洗；钝化；纯水清洗；转运至百级无尘室；高压冲洗；超声清洗；表面吹干；真空干燥。该工艺能有效去除多层带孔零部件内外表面的颗粒污染物，以及减少铝基材表面铜、镁、钙、锌等杂质元素的含量。经该工艺处理后，在铝基材表面生成致密的钝化膜层，能够提高部件的耐腐蚀性和使用寿命。
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公开(公告)号：CN219824425U
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202321299547.7
申请日：2023-05-26
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及半导体表面处理加工技术领域，特别涉及一种用于无导电点铝合金圆盘工件电解抛光的卡箍式夹具，包括两个半圆的卡箍本体，每个卡箍本体的两端分别向外延伸出一个方形锁接端，锁接端位于径向方向且中心开设锁孔；两个卡箍本体对合成圆形，卡紧圆盘工件的侧壁；两端的锁孔对齐后分别通过一组锁紧螺丝和锁紧螺母锁紧。本实用新型适用于IC装备制造业的无导电孔或者导电孔导电不良的圆形铝合金工件的电解抛光，同时可以避免由于卡盘方式对工件造成的卡伤等外观缺陷，此外拆装简便，可操作性强。
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公开(公告)号：CN219928907U
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202320554039.2
申请日：2023-03-21
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及表面处理清洗技术领域，特别涉及一种多孔盘高精密清洗治具，包括共轴心连接的基板和支板，在基板和支板的外边缘对应位置铰接安装三组吊爪，用于抱紧和松开待清洗的多孔盘；支板连接挂钩，用于悬挂清洗；吊爪包括一体连接的连接柄和爪部，爪部带有弯折；连接柄和爪部交接处开设铰接孔A，连接柄上部开设铰接孔B；爪部的底部为卡接点A，弯折中部为外凸的卡接点B，卡接点A和卡接点B卡合多孔盘的边缘。本实用新型治具为通用型，可适用于不同规格的多孔盘，整体治具重量轻，而且选用特氟龙材质，既保证酸、碱环境中均不会发生反应，又可避免划伤多孔盘表面。
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公开(公告)号：CN219819488U
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202321325529.1
申请日：2023-05-29
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本实用新型公开一种用于铝合金一体化成型球形气瓶治具，包括涨瓣、定位杆、定位块、垫圈、六角法兰面螺栓和标准型弹簧垫圈；定位杆顶端为楔形边的圆盘形状；底端设有内螺纹；定位块为具有楔形边的圆台形状，设有中心孔；定位块通过螺栓与定位杆紧固连接；将定位杆与定位块装入球形气瓶内部，并在球形气瓶内壁均设数个涨瓣，涨瓣为花瓣结构，两端分别卡固在定位杆与定位块的楔形边上，在楔形边的作用下膨胀与球形气瓶内壁抵接。通过该治具支撑零件球体内壁，加工外弧，达到防止颤刀情况发生和工件变形，保证特种气瓶壁厚均匀。
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