用于由入射电磁波在近区形成至少一个倾斜聚焦束的设备

    公开(公告)号:CN110168432A

    公开(公告)日:2019-08-23

    申请号:CN201780064815.8

    申请日:2017-10-20

    Abstract: 一种用于由入射在设备上的电磁波在近场区中形成至少一个聚焦束的设备,其特征在于它包括:至少部分地包括至少一个腔的至少一个介电材料层,该至少一个腔填充有折射指数小于介电材料的折射指数的介质。该至少一个腔的目标为圆柱形或锥形,并且包括相对于电磁波的到达方向限定的至少一个底表面和至少一个侧表面。该至少一个底表面由具有新月形状的底边缘线描绘,该底边缘线包括凹底边缘线段和凸底边缘线段,该底边缘线形状和/或取向和/或该至少一个底表面与该至少一个侧面之间的相关联的底角控制至少一个聚焦束在与电磁波的到达方向正交并且包括至少一个底表面的至少一部分的平面上的投影的角位置,其称为方位角。

    用于在光致抗蚀剂衬底上生成图案的光刻设备

    公开(公告)号:CN109891318A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201780065057.1

    申请日:2017-10-20

    Abstract: 在本公开的一个实施例中,提出了一种用于在光致抗蚀剂衬底上生成结构的光刻设备,光刻设备包括光照单元和光掩模。光掩模的显著之处在于它包括至少一个电介质材料层和折射率低于所述电介质材料的折射率的介质,其中,该至少一个电介质材料层的表面具有形成台阶的至少一个突然的水平变化,并且其中,至少所述表面相对于所述台阶和来自所述光照单元的电磁波的传播方向的基部和侧部与所述介质接触。

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