-
公开(公告)号：CN115020302B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210828946.1
申请日：2022-07-15
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干设备及清洗烘干方法，清洗烘干设备包括机架、机械手、上料装置、清洗装置、烘干装置和下料装置，清洗装置和烘干装置上分别设置相应的旋钮机构和定位机构，可以在将晶圆存放盒进行清洗和烘干时，将晶圆存放盒的盖子和盒体分开，使二者相对独立不盖合，可以对盒体和盖子进行充分的清洗和烘干，保证清洁程度，同时晶圆存放盒烘干过程中通过提高氮气环境，并在真空环境下，可以降低液体沸点，提高烘干效率，避免缝隙中水分残留，具有优异的烘干效果。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115020302A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210828946.1
申请日：2022-07-15
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干设备及清洗烘干方法，清洗烘干设备包括机架、机械手、上料装置、清洗装置、烘干装置和下料装置，清洗装置和烘干装置上分别设置相应的旋钮机构和定位机构，可以在将晶圆存放盒进行清洗和烘干时，将晶圆存放盒的盖子和盒体分开，使二者相对独立不盖合，可以对盒体和盖子进行充分的清洗和烘干，保证清洁程度，同时晶圆存放盒烘干过程中通过提高氮气环境，并在真空环境下，可以降低液体沸点，提高烘干效率，避免缝隙中水分残留，具有优异的烘干效果。
-
公开(公告)号：CN307741006S
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202230623016.3
申请日：2022-09-21
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动FOUP清洗机的装载组件。
2.本外观设计产品的用途：全自动FOUP清洗机的装载组件，用于对12寸晶元FOUP进行自动上下料，并对清洗干燥后的FOUP进行临时存储和充氮气。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。-
公开(公告)号：CN307830292S
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202230704511.7
申请日：2022-10-25
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动FOUP清洗机。
2.本外观设计产品的用途：用于对12寸晶圆FOUP进行自动上下料，清洗、干燥和充氮气。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。-
公开(公告)号：CN308014495S
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202230623100.5
申请日：2022-09-21
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动晶元盒清洗机的清洗罐。
2.本外观设计产品的用途：全自动晶元盒清洗机的组件，用于对12寸晶元FOUP进行自动清洗与烘干。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。-
公开(公告)号：CN308014494S
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202230622998.4
申请日：2022-09-21
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动晶元盒清洗机的真空箱。
2.本外观设计产品的用途：全自动晶元盒清洗机的组件，用于对12寸晶元FOUP以红外加热和抽真空的方式进行干燥。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.02 seconds)
