柔性耐弯折抗反射膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN117741837A

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202410112963.4

    申请日:2024-01-26

    IPC分类号: G02B1/111 G02B1/10

    摘要: 本发明公开了一种柔性耐弯折抗反射膜及其制备方法,该抗反射膜包括基材层以及形成于所述基材层外层的抗反射层,所述抗反射层包括至少一个第一折射率有机聚合物膜层和至少一个第二折射率有机聚合物膜层,其由所述基材层表面向外以(H‑L)k或L‑(H‑L)k的顺序交替堆叠;其中,H表示第一折射率有机聚合物膜层,L表示第二折射率有机聚合物膜层,k表示交替堆叠的膜层数量。本发明的iCVD工艺构建的多层有机聚合物抗反射薄膜的光学效果与传统物理气相沉积薄膜基本一致,并且其弹性理想、应力小,可以承受2mm曲率半径200000次以上的弯折,能克服传统物理气相沉积无机薄膜应力、脆性大、耐弯折性能差的弊端。