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公开(公告)号：CN105387910A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510549187.5
申请日：2015-08-31
申请人： 气体产品与化学公司
IPC分类号： G01F23/296
CPC分类号： G01F23/296 , G01F23/2961 , G01F23/2965
摘要： 一种用于测量密封容器内的液位的具有超声传感器(例如，压电晶体)的超声探头，其具有使得探头更可靠且能够随着容器接近于空的状态得到更精确的液位读数的特征。实施方式包括在探头的下端使超声传感器间隔更密切，偏置传感器以使得其垂直间隔能够更紧密，用于冗余的匹配的传感器对，和位于探头下端的面向下的传感器以降低可通过探头精确测量的最小液位。还可以提供坑槽以进一步降低可通过探头精确测量的最小液位。
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公开(公告)号：CN106048558A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610244829.5
申请日：2016-04-18
申请人： 气体产品与化学公司
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/08 , C23C16/16 , C23C16/18
CPC分类号： C23C16/4481 , C23C16/4482 , C23C16/45561 , C23C16/08 , C23C16/16 , C23C16/18 , C23C16/45563
摘要： 本文公开了一种容器，其用于利用载气从包含在所述容器内的前体材料输送含有前体的流体流。所述容器限定分段为上空间和下空间的内部空间，所述上空间与所述下空间流体连通，所述下空间包含基本上所有所述前体材料并通过分隔体与所述上空间分隔开。所述容器包括从入口端口延伸通过所述分隔体、具有远端并且沿所述容器的底部内壁延伸的扩散管，所述远端具有多个形成于其中的开口。
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公开(公告)号：CN101245445B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200710199985.5
申请日：2007-10-19
申请人： 气体产品与化学公司
IPC分类号： C23C16/44 , H01L21/205 , H01L21/365
CPC分类号： C23C16/4481
摘要： 本发明关于具有入口气室的固体源容器，用于从容器中输送一前体流体的容器，包括：一具有一上部容积和一下部容积的内部容积，其中该两个容积是连接的并且该下部容积储存前体；一盖，包括一流体入口将运载气体引导至该容器中，一“T”型流体出口，一具有上部凸缘的侧壁，其中该上部凸缘与该盖接触；一隔离器插入该盖和侧壁中间，其中该侧壁紧邻该上部凸缘设置，并且将该内部容积分隔成一上部容积和一下部容积；和一入口气室与该具有气室腔体的流体入口连接，该流体入口朝着该隔离器开口引导运载气体通过该隔离器并朝着该前体。还公开了一种使用该设备的方法。
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公开(公告)号：CN101654171A
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200910166641.3
申请日：2009-08-24
申请人： 气体产品与化学公司
CPC分类号： F16K11/02 , B08B9/00 , B08B9/08 , B08B9/0826 , B67D7/0272 , B67D7/0283 , B67D7/0294 , Y10T137/8376
摘要： 本发明涉及一种十字吹扫阀和容器组件，更具体地为一种具有十字吹扫能力的石英吹泡容器。所述十字吹扫允许用户容易地从所述阀进口和出口通过简单的惰性气体流动来吹扫空气和化学制剂，并且避免了对于更复杂的真空吹扫装置的需求。所述设计结合了两个设置在所述吹泡容器进口和出口连接器上的小印迹三路阀。每个阀的第三阀口在所述阀之间以管道连接到一起从而具有十字吹扫线路。所述阀耐腐蚀、防漏、免维修、无杂质侵入，并且可以容纳任选的破坏式密封破碎器，其将会贯穿(在所述安瓿的进口和出口上的)石英破坏式密封。本发明也预期了不同的结构材料的液体用容器。
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公开(公告)号：CN105021257A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510450937.3
申请日：2014-05-15
申请人： 气体产品与化学公司
IPC分类号： G01F23/296
CPC分类号： G01F23/2961 , B01J2/00 , B23P19/04 , G01F23/2965
摘要： 本发明的实施方式提供了用于测量密封容器内液位的具有增加数量(例如，十二个)的超声传感器的超声探头。所述超声探头包括颈管，其使得所述超声探头尽管具有容纳所述增加数量的超声传感器的加大的桶，也可与现有的标准化容器配件一起使用。本发明的实施方式还提供了系统和方法，其中超声探头中的超声传感器被一次一个地激活，以减少所述超声传感器及其配线之间的串扰。
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公开(公告)号：CN101205604B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200710300936.6
申请日：2007-12-14
申请人： 气体产品与化学公司
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/4482 , C23C16/448
摘要： 本发明涉及用于高真空、高流量起泡器器皿的防溅物和进口扩散器。本发明是起泡器，其具有终止于泡尺寸减少出口中的浸渍管进口和定位在浸渍管出口和起泡器出口之间的至少一个挡板盘，其构造为在挡板盘和起泡器的内侧壁之间提供窄的环形空间，以防止液体液滴进入到起泡器的出口。泡尺寸减少出口是延长的圆柱形多孔金属烧结料，其位于具有大约相同尺度的贮槽中。金属烧结料安放在起泡器的出口的进口处。本发明也是将化学品前体从具有上述结构的起泡器器皿输送的过程。
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公开(公告)号：CN101654171B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200910166641.3
申请日：2009-08-24
申请人： 气体产品与化学公司
CPC分类号： F16K11/02 , B08B9/00 , B08B9/08 , B08B9/0826 , B67D7/0272 , B67D7/0283 , B67D7/0294 , Y10T137/8376
摘要： 本发明涉及一种十字吹扫阀和容器组件，更具体地为一种具有十字吹扫能力的石英吹泡容器。所述十字吹扫允许用户容易地从所述阀进口和出口通过简单的惰性气体流动来吹扫空气和化学制剂，并且避免了对于更复杂的真空吹扫装置的需求。所述设计结合了两个设置在所述吹泡容器进口和出口连接器上的小印迹三路阀。每个阀的第三阀口在所述阀之间以管道连接到一起从而具有十字吹扫线路。所述阀耐腐蚀、防漏、免维修、无杂质侵入，并且可以容纳任选的破坏式密封破碎器，其将会贯穿(在所述安瓿的进口和出口上的)石英破坏式密封。本发明也预期了不同的结构材料的液体用容器。
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公开(公告)号：CN1331726C
公开(公告)日：2007-08-15
申请号：CN200410063967.0
申请日：2004-06-24
申请人： 气体产品与化学公司
CPC分类号： B67D7/0272
摘要： 一种用于高纯度、高成本、液体化学制品的可输送容器，该容器可以在偏离直立位置的不同位置处最大程度地分配容器中的液体化学制品内容物，包括：顶壁，侧壁和底壁，底壁的内表面与液体化学制品相接触并具有向上的凹形状轮廓，该轮廓的最低点在容器中心轴线上点，一个进口，一个包括浸入管的出口，通过该浸入管液体化学制品可以从所述容器中分配出来，该浸入管的出口端靠近顶面并且进口末端靠近最低点，一个输出端靠近顶面以及末端靠近最低点的液面传感器组件；浸入管和液面传感器组件在它们的末端处比在它们靠近顶面的端部处彼此更加靠近。
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公开(公告)号：CN104215300A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410206617.9
申请日：2014-05-15
申请人： 气体产品与化学公司
IPC分类号： G01F23/296
摘要： 本发明的实施方式提供了用于测量密封容器内液位的具有增加数量(例如，十二个)的超声传感器的超声探头。所述超声探头包括颈管，其使得所述超声探头尽管具有容纳所述增加数量的超声传感器的加大的桶，也可与现有的标准化容器配件一起使用。本发明的实施方式还提供了系统和方法，其中超声探头中的超声传感器被一次一个地激活，以减少所述超声传感器及其配线之间的串扰。
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公开(公告)号：CN101839394A
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN201010139333.4
申请日：2010-03-19
申请人： 气体产品与化学公司
摘要： 本发明涉及用于高流速真空起泡器容器的防溅器。具体地，提供了一种贮存器，其具有：浸管入口；至少一个挡盘，其定位在该浸管出口和该贮存器出口之间以便在该挡盘和该贮存器侧壁之间提供狭窄的环状空间，以便防止液滴进入出口，到达该贮存器和其侧壁的内表面；以及在该侧壁的径向向内伸出的环状偏转突出部，其邻近所述挡盘。本发明还涉及一种从具有上述结构的贮存器输送化学前体的方法。设想了液体输送和蒸气输送。
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