Invention Publication
- Patent Title: 用于高流速真空起泡器容器的防溅器
- Patent Title (English): Splashguard for high flow vacuum bubbler vessel
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Application No.: CN201010139333.4Application Date: 2010-03-19
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Publication No.: CN101839394APublication Date: 2010-09-22
- Inventor: C·M·伯特彻尔 , T·A·斯泰德尔
- Applicant: 气体产品与化学公司
- Applicant Address: 美国宾夕法尼亚州
- Assignee: 气体产品与化学公司
- Current Assignee: 弗萨姆材料美国有限责任公司
- Current Assignee Address: 美国宾夕法尼亚州
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 薛峰; 谭祐祥
- Priority: 12/407279 2009.03.19 US
- Main IPC: F17C13/00
- IPC: F17C13/00 ; F17C5/02 ; F17C6/00 ; F17C9/00

Abstract:
本发明涉及用于高流速真空起泡器容器的防溅器。具体地,提供了一种贮存器,其具有:浸管入口;至少一个挡盘,其定位在该浸管出口和该贮存器出口之间以便在该挡盘和该贮存器侧壁之间提供狭窄的环状空间,以便防止液滴进入出口,到达该贮存器和其侧壁的内表面;以及在该侧壁的径向向内伸出的环状偏转突出部,其邻近所述挡盘。本发明还涉及一种从具有上述结构的贮存器输送化学前体的方法。设想了液体输送和蒸气输送。
Public/Granted literature
- CN101839394B 用于高流速真空起泡器容器的防溅器 Public/Granted day:2012-11-14
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