公开(公告)号：CN108507487A

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201711161577.0

申请日：2017-11-20

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 水谷浩希 ,  菅孝博 ,  滝政宏章

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明的光学计测装置不论计测对象物的表面形状如何，均可准确地计测出计测对象物的表面形状。处理部(70、70b)对于与各个芯材(241、242、…、24N)对应的各个反射光，根据反射光来算出光学系统(40)与计测对象物(80)的距离。对于各个反射光，将表示距离的值与阈值进行比较。当在与所有芯材(241、242、…、24N)对应的反射光中，表示距离的值为阈值以上、或表示距离的值小于阈值时，算出所有表示距离的值的平均值。当在与一部分芯材对应的反射光中，表示距离的值为阈值以上，而在与一部分芯材以外的芯材对应的反射光中，表示距离的值小于阈值时，算出阈值以上的表示距离的值的平均值、或小于阈值的表示距离的值的平均值。

公开(公告)号：CN108507487B

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201711161577.0

申请日：2017-11-20

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 水谷浩希 ,  菅孝博 ,  滝政宏章

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明的光学计测装置不论计测对象物的表面形状如何，均可准确地计测出计测对象物的表面形状。处理部(70、70b)对于与各个芯材(241、242、…、24N)对应的各个反射光，根据反射光来算出光学系统(40)与计测对象物(80)的距离。对于各个反射光，将表示距离的值与阈值进行比较。当在与所有芯材(241、242、…、24N)对应的反射光中，表示距离的值为阈值以上、或表示距离的值小于阈值时，算出所有表示距离的值的平均值。当在与一部分芯材对应的反射光中，表示距离的值为阈值以上，而在与一部分芯材以外的芯材对应的反射光中，表示距离的值小于阈值时，算出阈值以上的表示距离的值的平均值、或小于阈值的表示距离的值的平均值。