-
公开(公告)号：CN1183378C
公开(公告)日：2005-01-05
申请号：CN02122889.2
申请日：2002-06-17
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01L9/12
CPC classification number: A61B5/022 , G01L9/0042 , G01L9/0073
Abstract: 本发明提供的压力传感器不会对压力传感器的其他特性有大的影响，也不会防碍小型化，而可以精确控制压力传感器对压力变化的响应特性。本发明在压力传感器主体一侧基板22的上表面设置有凹陷下去的压力检测腔23、导压通路25及缓冲空间24，用薄膜片31覆盖在压力检测腔23的上面，同时用遮盖基板30覆盖在导压通路25和缓冲空间24上面。在主体一侧基板22下面设压力导入部位26，其缓冲空间24的下面相连。缓冲空间24的断面比压力导入部位26的断面大，且缓冲空间24的容积比导压通路25的容积大。
-
公开(公告)号：CN1392399A
公开(公告)日：2003-01-22
申请号：CN02122889.2
申请日：2002-06-17
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01L7/08
CPC classification number: A61B5/022 , G01L9/0042 , G01L9/0073
Abstract: 本发明提供的压力传感器不会对压力传感器的其他特性有大的影响，也不会妨碍小型化，而可以精确控制压力传感器对压力变化的响应特性。本发明在压力传感器主体一侧基板22的上表面设置有凹陷下去的压力检测腔23、导压通路25及缓冲空间24，用薄膜片31覆盖在压力检测腔23的上面，同时用遮盖基板30覆盖在导压通路25和缓冲空间24上面。在主体一侧基板22下面设压力导入部位26，其缓冲空间24的下面相连。缓冲空间24的断面比压力导入部位26的断面大，且缓冲空间24的容积比导压通路25的容积大。
-
公开(公告)号：CN100459010C
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200610057057.0
申请日：2006-03-17
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 静电微开关及其制造方法、以及具有静电微开关的装置。本发明的课题是提供可以维持高频特性、同时防止驱动电压上升或动作速度下降的静电微开关。作为解决手段，本发明的静电微开关通过设置在固定基板(10)上的固定电极(12)和弹性支撑在固定基板(10)上的可动基板(20)中的可动电极(23)之间的静电引力，使可动基板(20)变位，由此进行设置在固定基板(10)上的信号线(14)和设置在可动基板(20)上的可动触点(28)之间的通断。可动基板(20)由包含多种电阻率的半导体构成，在可动电极(23)中，与固定电极(12)相对的部分为低电阻率。此外，在可动基板(20)中与信号线(14)相对的部分为高电阻率。
-
公开(公告)号：CN1848343A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200610057057.0
申请日：2006-03-17
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 静电微开关及其制造方法、以及具有静电微开关的装置。本发明的课题是提供可以维持高频特性、同时防止驱动电压上升或动作速度下降的静电微开关。作为解决手段，本发明的静电微开关通过设置在固定基板(10)上的固定电极(12)和弹性支撑在固定基板(10)上的可动基板(20)中的可动电极(23)之间的静电引力，使可动基板(20)变位，由此进行设置在固定基板(10)上的信号线(14)和设置在可动基板(20)上的可动触点(28)之间的通断。可动基板(20)由包含多种电阻率的半导体构成，在可动电极(23)中，与固定电极(12)相对的部分为低电阻率。此外，在可动基板(20)中与信号线(14)相对的部分为高电阻率。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.016 seconds)
