锡焊检查用检查基准登记方法及用该方法的基板检查装置

    公开(公告)号:CN103206925A

    公开(公告)日:2013-07-17

    申请号:CN201310018573.2

    申请日:2013-01-17

    CPC classification number: G06T7/0004 G01N21/95684 G01N2021/95646 H05K13/08

    Abstract: 本发明的目的在于进行基于焊脚的具体的形状的检查,并且能够简单地设定该检查的基准。就安装于基板的部件的焊脚而言,为了通过计算求得表示该三维形状的数值参数,基于判断该数值参数是否恰当的方法来设定检查的基准,显示包括表示设定对象的部件的图像的图像显示区域(51)和检查基准列表(513)的设定画面,并且接受来自用户的操作。在检查基准列表(513)显示将多个检查项目的项目名称与在各自的检查项目所计测的数值参数的基准值的输入栏建立了对应关系的列表(513)。除了显示在图像显示区域(51)的图像,用户还可以适当地调用表示数值参数的概念的参考图(K1)来判断适合基准值的数值,并进行输入。

    三维形状测量装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108072335A

    公开(公告)日:2018-05-25

    申请号:CN201710860489.3

    申请日:2017-09-21

    CPC classification number: G01B11/2513 G01B11/25

    Abstract: 本发明提供一种在通过图案的投影来进行物体的三维形状测量时,即使不增加投影单元的数量也能够抑制产生成为阴影的区域的技术。一种三维形状测量装置,具有:投影单元(10),其对测量对象投影图案;拍摄单元(11),其对被投影了所述图案的所述测量对象进行拍摄;测量单元(12),其通过处理由所述拍摄单元取得的图像来对检查对象的三维形状进行测量;以及移动单元(13),其使所述投影单元移动。

    三维形状测量装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108072335B

    公开(公告)日:2020-09-18

    申请号:CN201710860489.3

    申请日:2017-09-21

    Abstract: 本发明提供一种在通过图案的投影来进行物体的三维形状测量时,即使不增加投影单元的数量也能够抑制产生成为阴影的区域的技术。一种三维形状测量装置,具有:投影单元(10),其对测量对象投影图案;拍摄单元(11),其对被投影了所述图案的所述测量对象进行拍摄;测量单元(12),其通过处理由所述拍摄单元取得的图像来对检查对象的三维形状进行测量;以及移动单元(13),其使所述投影单元移动。

    基板检查装置及控制方法

    公开(公告)号:CN105300315A

    公开(公告)日:2016-02-03

    申请号:CN201510359138.5

    申请日:2015-06-25

    Abstract: 提供一种基板检查装置及控制方法。该基板检查装置具有:焊锡形状测量部,使用第一图像来复原检查对象的焊锡的三维形状,第一图像是使用多种颜色光从互不相同的入射角照射基板,在使镜面物体表面上呈现出与镜面物体表面的法线方向对应的颜色特征的状态下拍摄而获得的;零件形状测量部,使用第二图像来复原检查对象的零件电极的三维形状,第二图像是将图案光投影在基板上,在使漫反射物体表面上呈现出与该漫反射物体表面的凹凸对应的图案变形的状态下拍摄而获得的;检查部,使用通过焊锡形状测量部获得的焊锡的三维形状的数据和通过零件形状测量部获得的零件电极的三维形状的数据,来检查焊锡与零件电极之间的接合分界面的接合状态。

    生产线的管理装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107305367A

    公开(公告)日:2017-10-31

    申请号:CN201710188050.0

    申请日:2017-03-27

    CPC classification number: G06Q50/04 Y02P90/30 G05B19/41865 G05B2219/32252

    Abstract: 本发明提供能够简单且客观地确认对制造装置实施的整修作业对生产线的动作、品质带来的影响的技术。管理装置具有:整修作业数据获取部,获取整修作业数据作为对制造装置进行的整修作业的信息,该整修作业数据至少包括确定所进行的整修作业的作业确定信息以及表示整修作业进行的时机的作业时机信息;检查结果数据获取部,其获取检查装置对各产品进行检查的检查结果数据;以及作业效果信息输出部,其基于所述整修作业数据和所述检查结果数据,生成并输出表示该整修作业前后的产品品质的变化的作业效果信息,作为用于确认对所述制造装置进行的整修作业的效果的信息。

    锡焊检查用检查基准登记方法及用该方法的基板检查装置

    公开(公告)号:CN103206925B

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201310018573.2

    申请日:2013-01-17

    CPC classification number: G06T7/0004 G01N21/95684 G01N2021/95646 H05K13/08

    Abstract: 本发明的目的在于进行基于焊脚的具体的形状的检查,并且能够简单地设定该检查的基准。就安装于基板的部件的焊脚而言,为了通过计算求得表示该三维形状的数值参数,基于判断该数值参数是否恰当的方法来设定检查的基准,显示包括表示设定对象的部件的图像的图像显示区域(51)和检查基准列表(513)的设定画面,并且接受来自用户的操作。在检查基准列表(513)显示将多个检查项目的项目名称与在各自的检查项目所计测的数值参数的基准值的输入栏建立了对应关系的列表(513)。除了显示在图像显示区域(51)的图像,用户还可以适当地调用表示数值参数的概念的参考图(K1)来判断适合基准值的数值,并进行输入。

    基板检查系统
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102608114B

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201110342992.2

    申请日:2011-10-25

    Abstract: 本发明提供基板检查系统,针对每个检查对象基板的部件及针对每个需要实施的检查项目选择检查的单元,基于选择结果在各检查机中生成检查信息。部件确定处理部根据处理对象基板的设计信息确定各部件位置及部件种类。检查项目识别部参照部件种类表对确定的部件识别需要的检查项目,检查单元选择部参照检查机能力表选择对各检查项目实施检查的检查单元。通过这些处理生成检查菜单信息,检查菜单信息指,针对每个部件,将表示对部件实施的检查项目和检查单元的信息与部件的部件种类及位置信息建立关联的信息。各检查机输入检查菜单信息,识别定义为由自身装置实施检查的部件,并根据该部件种类将检查程序与部件的位置信息建立关联,以生成检查信息。

    基板检查系统
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102608114A

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201110342992.2

    申请日:2011-10-25

    Abstract: 本发明提供基板检查系统,针对每个检查对象基板的部件及针对每个需要实施的检查项目选择检查的单元,基于选择结果在各检查机中生成检查信息。部件确定处理部根据处理对象基板的设计信息确定各部件位置及部件种类。检查项目识别部参照部件种类表对确定的部件识别需要的检查项目,检查单元选择部参照检查机能力表选择对各检查项目实施检查的检查单元。通过这些处理生成检查菜单信息,检查菜单信息指,针对每个部件,将表示对部件实施的检查项目和检查单元的信息与部件的部件种类及位置信息建立关联的信息。各检查机输入检查菜单信息,识别定义为由自身装置实施检查的部件,并根据该部件种类将检查程序与部件的位置信息建立关联,以生成检查信息。

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